[发明专利]一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜

权利要求书

1.一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜，其特征是该光刻投影物镜物象共轭距L＝500mm；

从入射方向开始到光阑前，为第一透镜组，依次设置L1～L7共7枚镜片，其中第2枚即镜片L2、第6枚即镜片L6为负透镜，其余镜片均为正透镜；

从光阑开始到像面前，为第二透镜组，依次设置L8～L14共7枚镜片，其中第9枚即镜片L9、第13枚即镜片L13为负透镜，其余镜片均为正透镜；

第一透镜组与第二透镜组镜片类型关于光阑成镜像对称，构成双远心结构，物方、像方远心度均控制在±0.5度以内。

2.根据权利要求1所述的用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜，其特征是：其工作波长为i线，即365nm。

3.根据权利要求1所述的用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜，其特征是：其物方工作距、像方工作距均为60mm。

4.根据权利要求1所述的用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜，其特征是：该双远心结构式光刻投影物镜在物面、像面有一定偏离的情况下，依然保证镜头有良好的成像质量以及相同的放大倍率；该双远心结构式光刻投影物镜平衡了透过率和镜片片数之间的关系，透过率估算可以达到40％以上，而14枚镜片的应用能够有效矫正多种像差，尤其是边缘视场的畸变和场曲。

5.根据权利要求1所述的用于桌面STEPPER光刻机的双远心投影物镜，其特征是：该双远心结构式光刻投影物镜的放大倍率M＝-1×。

6.根据权利要求1所述的用于桌面STEPPER光刻机的双远心投影物镜，其特征是：其物方有效视场为75mm×75mm，物方数值孔径为NA＝0.055；

同时，根据瑞利公式k代表光刻工艺因子，NA为物镜数值孔径，其中工艺因子取0.7，该物镜的分辨率理论上能达到<5μm。

7.根据权利要求1所述的用于桌面STEPPER光刻机的双远心投影物镜，其特征是：镜片材料牌号分别采用国产H-K9L、H-QK3L以及F2的玻璃。