[发明专利]薄膜晶体管基板与显示器

说明书

本发明公开一种薄膜晶体管基板与显示器，该薄膜晶体管基板包括：基板；栅极，位于基板上；栅极绝缘层，位于基板上且覆盖栅极；主动层，配置于栅极绝缘层上；蚀刻停止层，位于主动层与栅极绝缘层上；第一开口，穿过该蚀刻停止层并露出该主动层的第一部分；源极，位于蚀刻停止层上，并经由第一开口电连接至主动层的第一部分；第一无机绝缘层，位于源极与蚀刻停止层上；第二开口，穿过第一无机绝缘层与蚀刻停止层并露出主动层的第二部分；阻障层，位于第二开口的侧壁与底部上且接触主动层的第二部分；有机绝缘层，位于第一无机绝缘层上；第三开口，穿过有机绝缘层并露出阻障层；透明电极，位于部分有机绝缘层上且经由第三开口接触阻障层。

技术领域

本发明涉及薄膜晶体管，且特别是涉及薄膜晶体管基板以及显示器。

背景技术

随着显示科技日益进步，显示器可使生活更加便利。为求显示器轻与薄的特性，平面显示器(flat panel display，FPD)成为目前的主流。在诸多平面显示器中，液晶显示器(liquid crystal display，LCD)具有高空间利用效率、低消耗功率、无辐射、以及低电磁干扰等优越特性，因此深受消费者欢迎。

液晶显示器主要是由薄膜晶体管基板、彩色滤光基板、与位于两基板之间的液晶层所构成。薄膜晶体管基板具有多个薄膜晶体管分别位于多个像素中。

目前液晶显示器朝向提高分辨率的方向发展。然而，受限于目前光刻技术的分辨率极限，薄膜晶体管中的源极与漏极之间的距离无法缩小，因此，薄膜晶体管的尺寸无法缩小，以致于当提高分辨率(亦即，缩小各像素的尺寸)时，像素的开口率会大幅下降。因此，如何缩小薄膜晶体管的尺寸是当前的重要课题。

发明内容

为解决上述问题，本发明一实施例提供的薄膜晶体管基板，包括：基板；栅极，位于基板上；栅极绝缘层，位于基板上且覆盖栅极；主动层，配置于栅极绝缘层上；蚀刻停止层，位于主动层与栅极绝缘层上；第一开口，穿过蚀刻停止层并露出主动层的第一部分；源极，位于蚀刻停止层上，并经由第一开口电连接至主动层的第一部分；第一无机绝缘层，位于源极与蚀刻停止层上；第二开口，穿过第一无机绝缘层与蚀刻停止层并露出主动层的第二部分；阻障层，位于第二开口的侧壁与底部上且接触主动层的第二部分；有机绝缘层，位于第一无机绝缘层上；第三开口，穿过有机绝缘层并露出阻障层；透明电极，位于部分有机绝缘层上且经由第三开口接触阻障层。

本发明一实施例提供的薄膜晶体管基板，包括：基板；栅极，位于基板上；栅极绝缘层，位于基板上且覆盖栅极；主动层，配置于栅极绝缘层上；蚀刻停止层，位于主动层与栅极绝缘层上；第一开口，穿过蚀刻停止层并露出主动层的第一部分；源极，位于蚀刻停止层上，并经由第一开口电连接至主动层的第一部分；第一无机绝缘层，位于源极与蚀刻停止层上；第二开口，穿过第一无机绝缘层与蚀刻停止层并露出主动层的第二部分；阻障层，位于第二开口的侧壁与底部上且接触主动层的第二部分；透明电极，位于部分第一无机绝缘层上且接触阻障层。

本发明一实施例提供的显示器，包括：上述的薄膜晶体管基板；对向基板，与薄膜晶体管基板相对设置；以及显示介质，位于薄膜晶体管基板与对向基板之间。

附图说明

图1为本发明一实施例中薄膜晶体管基板的剖视图；

图2为本发明一实施例中薄膜晶体管基板的剖视图；

图3为图2的薄膜晶体管基板的上视图；

图4为本发明一实施例中薄膜晶体管基板的剖视图；

图5为图4的薄膜晶体管基板的上视图；

图6为本发明一实施例中薄膜晶体管基板的剖视图；

图7为图6的薄膜晶体管基板的上视图；

图8为本发明一实施例中薄膜晶体管基板的剖视图；