[发明专利]EUV光源和曝光装置

权利要求书

1.一种EUV光源，其特征在于，包括：

液滴阵列，所述液滴阵列包括沿扫描方向排布的若干喷嘴，若干喷嘴适于依次向下方的辐射位置喷吐液滴；

激光源，适于产生激光束，并使激光束沿扫描方向扫描，依次轰击到达辐射位置的液滴，液滴受到激光轰击时形成等离子体，等离子体辐射极紫外光；

聚光器，所述聚光器位于反射镜和辐射位置之间，所述聚光器包括聚光镜和第二驱动装置，聚光镜具有椭球型反射面，所述椭球型反射面收集辐射的极紫外光，并将收集的辐射极紫外光反射汇聚于中心焦点，所述第二驱动装置与聚光镜连接，适于驱动所述聚光镜旋转扫描，在激光束依次轰击到达辐射位置的液滴形成的辐射极紫外光时，聚光镜收集辐射的极紫外光，并将收集的辐射极紫外光反射后汇聚于中心焦点；

且所述聚光镜包括分离的第一部分聚光镜和第二部分聚光镜，第一部分聚光镜位于第二部分聚光镜上方，所述第二驱动装置包括第三子驱动装置和第四子驱动装置，第三子驱动装置与第一部分聚光镜连接，适于驱动第一部分聚光镜旋转扫描，第四子驱动装置与第二部分聚光镜连接，适于驱动第二部分聚光镜旋转扫描。

2.如权利要求1所述的EUV光源，其特征在于，液滴阵列上的相邻喷嘴的中心之间的间距相等。

3.如权利要求2所述的EUV光源，其特征在于，所述液滴的尺寸为25～35微米，相邻喷嘴的中心之间的距离为45～75微米。

4.如权利要求1所述的EUV光源，其特征在于，所述液滴材料为锡、锡合金、锡化合物、氙或锂。

5.如权利要求1所述的EUV光源，其特征在于，所述喷嘴的数量大于等于2个。

6.如权利要求5所述的EUV光源，其特征在于，所述若干喷嘴沿扫描方向依次包括第一喷嘴、第二喷嘴、第三喷嘴……第N喷嘴，N≥3，在第一喷嘴喷吐第一液滴后，第二喷嘴滞后于第一喷嘴第一时间喷吐第二液滴，第三喷嘴滞后于第二喷嘴第一时间喷吐第三液滴……第N喷嘴滞后于第N-1喷嘴第一时间喷吐第N液滴。

7.如权利要求6所述的EUV光源，其特征在于，所述激光源沿扫描方向扫描，依次轰击位于辐射位置的第一液滴、第二液滴、第三液滴……第N液滴。

8.如权利要求6所述的EUV光源，其特征在于，所述第一喷嘴在喷吐第一滴第一液滴后，间隔第二时间喷吐第二滴第一液滴，第二喷嘴在喷吐第一滴第二液滴后，间隔第二时间喷吐第二滴第二液滴，第三喷嘴在喷吐第一滴第三液滴后，间隔第二时间喷吐第二滴第三液滴……第N喷嘴在喷吐第一滴第N液滴后，间隔第二时间喷吐第二滴第N液滴。

9.如权利要求1所述的EUV光源，其特征在于，所述激光源包括激光器、反射镜、第一驱动装置，所述激光器适于产生激光束，所述反射镜适于反射激光束，使得反射的激光束向辐射位置传输，所述第一驱动装置与反射镜连接，适于驱动所述反射镜旋转，使得反射镜反射的激光束沿扫描方向扫描，依次轰击到达辐射位置的液滴。

10.如权利要求9所述的EUV光源，其特征在于，所述反射镜包括第一反射镜和第二反射镜，第一驱动装置包括第一子驱动装置和第二子驱动装置，所述第一反射镜位于第二反射镜上方，第一反射镜反射部分激光束，形成第一激光束，第一子驱动装置与第一反射镜连接，第一子驱动装置驱动第一反射镜旋转，使得第一激光束沿扫描方向扫描；第二反射镜反射部分激光束，形成第二激光束，所述第二子驱动装置与第二反射镜连接，所述第二子驱动装置驱动第二反射镜旋转，使得第二激光束沿扫描方向扫描。

11.如权利要求1所述的EUV光源，其特征在于，所述聚光镜的中心处具有通道，以使反射镜反射的激光束通过通道传输至辐射位置轰击到达辐射位置的液滴。