[发明专利]薄膜太阳电池的加工槽检测方法及加工槽检测装置

权利要求书

1.一种加工槽检测方法，于在基板上依次积层着下部电极层与光吸收层并在所述下部电极层的一部分加工出下部电极分离用槽的薄膜太阳电池用加工品中，检测被所述光吸收层覆盖的所述槽，

所述加工槽检测方法利用红外线摄像装置检测作为辐射红外光从所述加工品辐射出的能够透过所述光吸收层的波长区域的摄像用红外光，获取所述摄像用红外光的辐射强度分布图像数据，所述红外线摄像装置配置在所述光吸收层上方侧，且不检测可见光而检测所述摄像用红外光，

并基于所述辐射强度分布图像数据检测所述下部电极层的槽。

2.根据权利要求1所述的加工槽检测方法，其中所述红外线摄像装置检测1.4μm以上的波长区域的红外光作为摄像用红外线。

3.根据权利要求1或2所述的加工槽检测方法，其中所述红外线摄像装置为红外线线扫描摄像机，通过一边沿着所述加工品的所述槽附近相对地移动一边进行拍摄而获取槽附近的辐射强度分布图像数据。

4.一种加工槽检测装置，于在基板上依次积层着下部电极层与光吸收层并在所述下部电极层的一部分加工出下部电极分离用槽的薄膜太阳电池用加工品中，检测被所述光吸收层覆盖的所述槽，其特征在于：所述加工槽检测装置包括：

平台，使所述光吸收层朝上地载置所述加工品；

红外线摄像装置，配置在所述平台的上方，且不检测可见光而检测作为辐射红外光从所述加工品辐射出的能够透过所述光吸收层的波长区域的摄像用红外光，获取该摄像用红外光的辐射强度分布图像数据；及

加工槽决定部，基于所述辐射强度分布图像数据检测所述下部电极层的槽。