[发明专利]压力传送器

说明书

技术领域

本发明涉及压力传送器，特别是涉及较佳地适合于在放射线环境、高温环境下使用的压力传送器。

背景技术

压力传送器利用填充于导压路内的封入液将由隔膜承受的流体的压力传递到压力传感器，向外部传送由压力传感器检测到的电信号，有测量绝对压力的压力传送器和测量压差的压力传送器。

这些压力传送器被用于以原子能设备为首的石油精制设备、化学设备等的处理流体的各种测量，从确保设备的安全和确保制品的质量的点出发，例如要求±1％的精度。可是，在长期的使用中，处理流体所含有的氢(氢原子、氢分子、氢离子)的一部分透过隔膜，成为气泡而积存在导压路中。由此，导压路内部的压力上升，压力传递特性劣化，因此难以保持测量精度。

因此，以往以来，抑制透过隔膜而侵入到压力传送器的内部的氢的影响的各种技术被提出。例如，在下述专利文献1中公开了以下的技术，即，通过在隔膜中的、与封入液接触的一面形成氢吸藏合金膜，使氢吸藏合金膜捕获透过了隔膜的氢，根据这样的技术，能够抑制封入液中的气泡的产生而维持压力传递特性。

专利文献1：日本特开2005－114453号公报

可是，上述的以往技术是用于降低从压力传送器的外部透过了隔膜的氢的影响的技术，没有考虑在压力传送器的内部所产生的气体、和透过隔膜侵入到内部的氢。即，在放射线环境、高温环境等特殊环境下，被填充在压力传送器的导压路内的封入液因放射线和热而分解，产生氢、碳化氢类的气体。由于所产生的气体一旦超过封入液的溶解度就会气泡化，所以即使这样压力传送器中的压力传递特性也会劣化。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供一种能够可靠地抑制导压路内的气泡的产生，由此能够长期维持压力传递特性的压力传送器。

用于解决课题的手段

为了达到这样的目的的本发明的压力传送器具备：管状的导压路；封入液，被填充在上述导压路内；受压隔膜，在闭塞上述导压路的一方的开口的状态下被设置，承受测量流体的压力；以及压力传感器，在被暴露于上述封入液的状态下设于上述导压路的另一方的开口，上述封入液是含有苯基的硅油，该压力传送器具有设于上述导压路的内部的氢吸藏材料。

发明的效果

根据如以上那样的结构的本发明的压力传送器，抑制由于导压路内的封入液的分解而造成的气体的产生，并且通过封入液中的氢被氢吸藏材料吸藏，也抑制气体的产生，因此，能够谋求导压路内部的压力的稳定化，能够长期维持压力传递特性。

附图说明

图1是表示第1实施方式的压力传送器的结构的图。

图2是说明基于氢吸藏材料的氢吸藏的图。

图3是表示导压路中的氢吸藏材料的配置例的图。

图4是说明伽马射线对封入液的照射试验的图。

图5是表示伽马射线的累计辐射剂量和封入液中的气体产生量的关系的曲线图。

图6是说明基于伽马射线的照射的封入液的分解和基于氢吸藏材料的氢吸藏的图。

图7是表示第2实施方式的压力传送器的结构的图。

图8是表示受压隔膜中的氢透过防止层的配置例的图。

图9是表示第3实施方式的压力传送器的结构的图。

图10是表示第4实施方式的压力传送器的结构的图。

图11是表示原子能设备中的压差传送器的应用例的图。

具体实施方式

以下，基于附图，按照以下所示的顺序说明本发明的实施方式。

1.第1实施方式(压差测量用的压力传送器)

2.第2实施方式(设有氢透过防止层的压差测量用的压力传送器)

3.第3实施方式(绝对压力测量用的压力传送器)

4.第4实施方式(具备中间隔膜的压力传送器)

5.第5实施方式(原子能设备中的压力传送器的应用例)

《第1实施方式》

(压差测量用的压力传送器)

图1是表示第1实施方式的压力传送器的结构的图。该图所示的压力传送器1用于以各种设备中的处理流体为测量流体的压力测量，测量2点间(高压侧和低压侧)的压力差。

＜压力传送器1的结构＞