[发明专利]电控自动化光电测试装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体器件测试技术领域，具体涉及一种电控自动化光电测试装置。

背景技术

近年来，CMOS图像传感器产品技术发展日新月异，各种不同规格的CMOS图像传感器应用于相机、监控、摄像机以及手机等移动终端。CMOS图像传感器在开发芯片时，需要对芯片的各个方面的性能进行全面的评估，其中最重要的转换增益、动态范围、线性度、量子效率等特性。这些性能都要在特定的光照条件下测试，比如在不同的光波长、不同的光强度、不同的入射光角度等等，这些测试评估需要一套完整的光电测试装置。

由于光电测试装置在不同的测试项目评估时，需要调节光强度、光波长、入射角等测试条件，这都涉及到测试装置的不同部分的设置；因此，采用目前的光电测试装置的测试过程比较繁琐、容易遗漏和产生错误，并且所经历的测试时间相当长。

因此，需要对现有的光电测试装置进行改进，以实现对测试条件的自动化控制，简化测试过程、缩短测试时间、以及提高测试准确性。

发明内容

为了克服以上问题，本发明旨在提供一种电控自动化光电测试装置，以期在测试过程中，使得光电测试装置对测试条件可以实现自动化控制。

本发明提供了一种电控自动化光电测试装置，其包括：测试系统和电控系统；

所述测试系统包括：

积分球光源，其包括积分球、光源和出光口，积分球将光源均匀化后，通过出光口输送给转轮组；

转轮组，与所述出光口相对，包含装载有衰减片的光强调节转轮和装载有滤波片的波长调节转轮，分别用于调整所述光源的光强和波长；

导轨，其上安装有升降台和旋转装置，所述升降台用于装载待测器件，所述待测器件接收来自所述转轮组的入射光；通过控制所述升降台沿所述导轨移动而控制所述待测器件到所述出光口的水平距离，通过控制旋转装置的旋转带动所述待测器件进行旋转，进而控制所述待测器件所接收到的入射光的角度；

所述电控系统包括：

参数输入单元，与电控单元相连，通过所述参数输入单元将测试参数输入到所述电控单元中；

电控单元，与所述转轮组、所述升降台和所述旋转装置相电连，根据所述输入的参数控制所述转轮组、所述升降台和所述旋转装置作出相应的动作；

数据采集单元，与所述待测器件相电连，对所检测得到的数据进行采集和分析。

优选地，所述电控单元包括转轮组控制子单元、升降台控制子单元和旋转控制子单元；

所述转轮组控制子单元，包括光强控制模块，用于控制光强调节转轮的转动来调整所述光源的光强；以及波长控制模块，用于控制波长调节转轮的转动来调整所述光源的波长；

所述升降台控制子单元，用于控制所述升降台沿所述导轨移动一定的距离；

所述旋转控制子单元，用于控制所述旋转装置的旋转一定的角度并带动所述待测器件进行旋转。

优选地，所述参数输入单元连接有参数输入装置，所述参数输入装置具有波长调节转轮编号输入界面，光强调节转轮编号输入界面，距离输入界面，以及旋转角度输入界面。

优选地，还包括避光装置，安装有升降台和旋转装置的所述导轨设置于所述避光装置中。

优选地，所述电控单元还包括：光源启闭控制子单元，用于控制积分球光源的启闭。

优选地，所述电控单元还包括：用于对转轮组控制子单元、升降台控制子单元、旋转控制子单元和光源启闭控制子单元所设置的参数进行确认的确认模块和进行取消的取消模块，以及进行保存的保存模块；

则所述参数输入单元连接有参数输入装置，所述参数输入装置具有波长调节转轮编号输入界面、光强调节转轮编号输入界面、距离输入界面、旋转角度输入界面、确认指令界面、取消指令界面和保存指令界面和光源启闭控制界面。

优选地，所述电控单元还包括：用于对转轮组控制子单元、升降台控制子单元、旋转控制子单元所设置的参数进行确认的确认模块和进行取消的取消模块，以及进行保存的保存模块；

则所述参数输入单元连接有参数输入装置，所述参数输入装置具有波长调节转轮编号输入界面、光强调节转轮编号输入界面、距离输入界面、旋转角度输入界面、确认指令界面、取消指令界面和保存指令界面。

优选地，所述转轮组中的每个转轮中具有通光孔，所述通光孔与所述出光口相对，且所述通光孔的直径与所述出光口的直径相匹配；所述光强调节转轮中的通光孔中安装衰减片，所述波长调节转轮中的通光孔中安装滤波片。

优选地，所述衰减片或所述滤波片与对应的所述通光孔呈螺纹连接。