[发明专利]太阳能电池硅片的抛光方法在审
| 申请号： | 201410555701.1 | 申请日： | 2014-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN105514213A | 公开（公告）日： | 2016-04-20 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 卡姆丹克太阳能（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226600 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 硅片 抛光 方法 | ||
1.一种太阳能电池硅片的抛光方法，其特征在于，包括以下步骤：
(a)对未抛光的太阳能电池硅片进行预清洗，并配制抛光溶液，所述抛光溶液为添加有表面 活性剂的碱溶液；
(b)将步骤(a)中所配制的抛光溶液加热到80～100℃，并将预清洗过的太阳能电池硅片浸 入该加热后的抛光溶液中进行抛光处理，所述抛光处理的时间为90～200秒；
(c)对步骤(b)中得到的抛光后的太阳能电池硅片进行酸洗、水洗和干燥。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片的抛光方法，其特征在于：在步骤(a)中，所述预 清洗使用的清洗剂为氨水和双氧水的混合溶液。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片的抛光方法，其特征在于：在步骤(a)中，所述表 面活性剂为烷基酚型表面活性剂。
4.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片的抛光方法，其特征在于：在步骤(a)中，所述表 面活性剂为E0P0E0型嵌段共聚物。
5.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片的抛光方法，其特征在于：在步骤(a)中，所述表 面活性剂占抛光溶液总体积的0.05％～0.5％。
6.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片的抛光方法，其特征在于：在步骤(a)中，所述碱 溶液为氢氧化钠或氢氧化钾溶液。
7.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片的抛光方法，其特征在于：在步骤(a)中，所述碱 溶液为四甲基氢氧化铵溶液。
8.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片的抛光方法，其特征在于：在步骤(a)中，所述碱 溶液的质量分数为10％～20％。
9.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片的抛光方法，其特征在于：在步骤(c)中，所述酸 洗所使用的酸液为氢氟酸和盐酸的混合溶液。
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