[发明专利]一种可测量法向和切向力的柔性力传感器

权利要求书

1.一种可测量法向和切向力的柔性力传感器，包括柔性力敏感单元以及与其电连接的检测电路单元，其特征在于：所述柔性力敏感单元由上柔性电极板层、下柔性电极板层以及位于所述上柔性电极板层与下柔性电极板层之间的柔性支架层组成；所述柔性支架层由带有空隙的柔性支撑体以及位于所述柔性支撑体空隙中的填充气体组成。

2.根据权利要求1所述的可测量法向和切向力的柔性力传感器，其特征在于：所述柔性支撑体为若干相互平行且均匀分布的柔性支撑柱，所述柔性支撑柱采用柔性柱状硅橡胶材料制成。

3.根据权利要求1所述的可测量法向和切向力的柔性力传感器，其特征在于：所述柔性支撑体为柔性多孔结构的支撑块，所述柔性多孔结构的支撑块采用柔性多孔硅橡胶材料制成。

4.根据权利要求1所述的可测量法向和切向力的柔性力传感器，其特征在于：所述柔性支撑体占柔性支架层空间的比例为30%～70%。

5.根据权利要求1所述的可测量法向和切向力的柔性力传感器，其特征在于：所述填充气体为空气、氮气、惰性气体三者之一。

6.根据权利要求1所述的可测量法向和切向力的柔性力传感器，其特征在于：所述上柔性电极板层和下柔性电极板层为平板状电极，所述平板状电极采用柔性导电橡胶或者以柔性硅橡胶材料为基体表面镀上导电层制成。

7.根据权利要求1所述的可测量法向和切向力的柔性力传感器，其特征在于：所述柔性支架层分别与上柔性电极板层和下柔性电极板层通过粘合剂粘接在一起，或者浇筑成一体。

8.根据权利要求1所述的可测量法向和切向力的柔性力传感器，其特征在于：所述检测电路单元由柔性封包层以及埋置于柔性封包层中的电子元件和柔性导线组成；所述柔性封包层设置于下柔性电极板层的底部正下方，其上开设有通孔，所述通孔中灌注有导电胶水，所述电子元件通过导电胶水与下柔性电极板层电连接。

9.根据权利要求8所述的可测量法向和切向力的柔性力传感器，其特征在于：所述柔性封包层采用柔性硅橡胶材料制成。