[发明专利]一种蓝宝石晶片抛光液有效
申请号: | 201410562946.7 | 申请日: | 2014-10-21 |
公开(公告)号: | CN104356950A | 公开(公告)日: | 2015-02-18 |
发明(设计)人: | 李金平 | 申请(专利权)人: | 李金平 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 王国标 |
地址: | 528000 广东省佛山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 晶片 抛光 | ||
1.一种蓝宝石晶片抛光液,其特征在于,所述抛光液由以下组分组成:
固含量为30~40wt%硅溶胶 20~30wt%;
直径为80~200nm氧化铝 10~20wt%;
有机碱 0.1~4wt%;
分散剂 0.1~3wt%;
壬基酚聚氧乙烯基醚 0.3~1wt%;
余量为去离子水。
2.根据权利要求1所述的抛光液,其特征在于:所述硅溶胶中二氧化硅粒子的直径为50~150nm。
3.根据权利要求2所述的抛光液,其特征在于:所述硅溶胶中二氧化硅粒子的直径为80~100nm。
4.根据权利要求1所述的抛光液,其特征在于:所述氧化铝的直径为100~150nm。
5.根据权利要求1所述的抛光液,其特征在于:所述有机碱为二羟基乙基乙二胺、二乙烯三胺、乙二胺或二乙醇胺。
6.根据权利要求1所述的抛光液,其特征在于:所述分散剂为六偏磷酸钠、吡啶或聚乙二醇。
7.根据权利要求1所述的抛光液,其特征在于:所述壬基酚聚氧乙烯基醚的pH=6~7,HLB值为10~15。
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