[发明专利]气体注射单元以及包含所述气体注射单元的热处理设备

权利要求书

1.一种经配置以将惰性气体注射到衬底上的气体注射单元，所述气体注射单元包括：

气体注射块，所述气体注射块具有气体注射空间，所述惰性气体穿过所述气体注射空间，并且所述气体注射块具有注射狭缝，所述注射狭缝界定在下侧中、具有在所述衬底的一个方向上延伸的线形状，并且允许所述惰性气体穿过所述注射狭缝，以便朝向所述衬底引导所述惰性气体；以及

气体供应部件，所述气体供应部件包括第一储箱，所述第一储箱在所述注射狭缝的延伸方向上延伸，并且在所述第一储箱的中心方向上具有从所述第一储箱的相对侧壁的两个端逐渐地减小的内径，所述惰性气体是通过所述两个端被引入，所述气体供应部件布置在所述气体注射块内并且连接到所述气体注射空间，以将所述惰性气体供应到所述气体注射空间中。

2.根据权利要求1所述的气体注射单元，其中所述气体供应部件包括：

第二储箱，所述第二储箱布置在所述气体注射块内以在所述第一储箱的延伸方向上延伸，所述第二储箱布置在所述第一储箱与所述气体注射空间之间，并且具有小于所述第一储箱的体积的体积；以及

第三储箱，所述第三储箱布置在所述气体注射块内以在所述第二储箱的延伸方向上延伸，所述第三储箱布置在所述第二储箱与所述气体注射空间之间，并且具有小于所述第二储箱的体积的体积。

3.一种经配置以将惰性气体注射到衬底上的气体注射单元，所述气体注射单元包括：

气体注射块，所述气体注射块具有气体注射空间，所述惰性气体穿过所述气体注射空间，并且所述气体注射块具有注射狭缝，所述注射狭缝界定在下侧中、具有在所述衬底的一个方向上延伸的线形状，并且允许所述惰性气体穿过所述注射狭缝，以便朝向所述衬底引导所述惰性气体；以及

气体供应部件，所述气体供应部件具有多个储箱，所述多个储箱在所述气体注射块内在所述气体注射空间的方向上排列，并且具有彼此不同的体积，所述气体供应部件将所述惰性气体供应到所述气体注射空间中，其中具有相对小体积的所述储箱是邻近于所述气体注射空间而布置，并且在所述多个储箱的其中一者的中心方向上具有从所述多个储箱的其中一者的相对侧壁的两个端逐渐地减小的内径，所述惰性气体是通过所述两个端被引入。

4.根据权利要求3所述的气体注射单元，其中所述多个储箱包括：

第一储箱，所述第一储箱在所述注射狭缝的延伸方向上延伸，所述第一储箱在所述第一储箱的中心方向上具有从所述第一储箱的两个端逐渐地减小的内径，所述惰性气体是通过所述两个端被引入；

第二储箱，所述第二储箱布置在所述气体注射块内以在所述第一储箱的延伸方向上延伸，所述第二储箱布置在所述第一储箱与所述气体注射空间之间，并且具有小于所述第一储箱的体积的体积；以及

第三储箱，所述第三储箱布置在所述气体注射块内以在所述第二储箱的延伸方向上延伸，所述第三储箱布置在所述第二储箱与所述气体注射空间之间，并且具有小于所述第二储箱的体积的体积。

5.根据权利要求2或4所述的气体注射单元，所述气体注射单元进一步包括气体供应管，所述气体供应管连接到所述第一储箱的所述两个端中的每一个，以将所述惰性气体供应到所述第一储箱中。

6.根据权利要求5所述的气体注射单元，其中所述气体供应部件包括：

连接通道，所述连接通道将所述第二储箱连接到所述第三储箱，所述连接通道是小于所述第二储箱以及所述第三储箱中的每一个的体积的体积；以及

排放狭缝，所述排放狭缝具有连接到所述第三储箱的一个端以及与所述气体注射空间的内部连通的另一端，所述排放狭缝具有小于所述第三储箱以及所述连接通道中的每一个的体积的体积。