[发明专利]一种太赫兹成像系统

权利要求书

1.一种太赫兹成像系统，用于对检测对象(100)进行检测，其特征在于，包括飞秒激光器(10)、分束器(20)、太赫兹发射器(30)、分光镜(50)、波束扫描装置(60)和太赫兹探测器(70)，所述分光镜(50)将接收到的太赫兹波反射到波束扫描装置(60)上，所述波束扫描装置(60)对检测对象(100)进行扫描；检测对象(100)反射的太赫兹波依次经过所述波束扫描装置(60)和所述分光镜(50)后到达所述太赫兹探测器(70)，所述太赫兹探测器(70)将接收到的太赫兹波转换成光电流信号输出供分析处理；所述飞秒激光器(10)用于发出激光束，所述分束器(20)用于将所述飞秒激光器(10)发出的激光束分成探测光和泵浦光；所述泵浦光经所述太赫兹发射器(30)后对检测对象(100)进行扫描，检测对象(100)反射的太赫兹波经所述分光镜(50)进入所述太赫兹探测器(70)，所述探测光经往复运动的快速延迟单元(80)进入所述太赫兹探测器(70)，所述太赫兹探测器(70)在所述探测光和所述太赫兹波的共同作用下产生探测信号。

2.根据权利要求1所述的太赫兹成像系统，其特征在于，所述波束扫描装置(60)包括第一可旋转反射镜(61)、第二可旋转反射镜(62)、扫描透镜(63)和反射镜驱动单元，所述反射镜驱动单元驱动所述第一可旋转反射镜(61)和所述第二可旋转反射镜(62)绕各自的对称轴转动；扫描透镜(63)为聚焦透镜，太赫兹波依次经过所述第一可旋转反射镜(61)、所述第二可旋转反射镜(62)和所述扫描透镜(63)照射到检测对象(100)上。

3.根据权利要求2所述的太赫兹成像系统，其特征在于，所述反射镜驱动单元包括两个扫描电机和伺服驱动单元，所述伺服驱动单元输出控制信号控制两个所述扫描电机分别驱动所述第一可旋转反射镜(61)和所述第二可旋转反射镜(62)旋转。

4.根据权利要求2所述的太赫兹成像系统，其特征在于，所述第一可旋转反射镜(61)的对称轴和所述第二可旋转反射镜(62)的对称轴垂直。

5.根据权利要求4所述的太赫兹成像系统，其特征在于，所述第一可旋转反射镜(61)的的对称轴垂直于检测对象(100)，所述第二可旋转反射镜(62)的对称轴平行于检测对象(100)。

6.根据权利要求1所述的太赫兹成像系统，其特征在于，所述快速延迟单元(80)包括音圈电机和光束回返镜(81)，所述快速延迟单元(80)受所述音圈电机驱动往复运动，所述光束回返镜(81)改变光路以投射至所述太赫兹探测器(70)。

7.根据权利要求1所述的太赫兹成像系统，其特征在于，还包括太赫兹扩束装置(40)和抛面镜(41)，所述太赫兹扩束装置(40)将所述太赫兹发射器(30)产生的太赫兹辐射扩束后形成平行光束射出至所述分光镜(50)；所述抛面镜(41)将检测对象(100)反射回的太赫兹波聚焦至所述太赫兹探测器(70)。

8.根据权利要求1所述的太赫兹成像系统，其特征在于，还包括第一反射器(90)和第二反射器(91)，所述第一反射器(90)接收所述飞秒激光器(10)发出的激光束并反射到分束器(20)上，所述第二反射器(91)接收所述探测光并反射给快速延迟单元(80)。

9.根据权利要求1所述的太赫兹成像系统，其特征在于，所述太赫兹发射器(30)包括太赫兹源和光束整理装置，所述太赫兹源受激光激发可产生太赫兹波，所述光束整理装置包括透镜，用于对太赫兹波进行整理。