[发明专利]二维纳米柔性运动平台

权利要求书

1.一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：

基座；

终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；

X向驱动器和Y向驱动器；

第一X向柔性解耦件和第一柔性解耦件，所述第一X向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和所述X向驱动器相连，所述第一柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述X向驱动器相连；以及

第二柔性解耦件和第一Y向柔性解耦件，所述第二柔性解耦件具有折弯部且分别与所述基座和所述Y向驱动器相连，所述第一Y向柔性解耦件沿Y向延伸且分别与所述终端平台和所述Y向驱动器相连。

2.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第一柔性解耦件和所述第二柔性解耦件中的每一个为弧形、S形或Z形。

3.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第一柔性解耦件包括多个沿Y向延伸的第一连接件和至少一个沿X向延伸的第二连接件，其中多个所述第一连接件中的位于一端的一个与所述基座相连，多个所述第一连接件中的位于另一端的一个与所述X向驱动器相连，相邻两个所述第一连接件通过所述第二连接件相连。

4.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第二柔性解耦件包括多个沿X向延伸的第三连接件和至少一个沿Y向延伸的第四连接件，其中多个所述第三连接件中的位于一端的一个与所述基座相连，多个所述第三连接件中的位于另一端的一个与所述Y向驱动器相连，相邻两个所述第三连接件通过所述第四连接件相连。

5.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第一柔性解耦件在X向上的长度与所述第一X向柔性解耦件在X向上的长度之比小于1：5，所述第二柔性解耦件在Y向上的长度与所述第一Y向柔性解耦件在Y向上的长度之比小于1：5。

6.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，进一步包括：

第二X向柔性解耦件和第三柔性解耦件，所述第二X向柔性解耦件沿X向延伸且与所述终端平台相连，所述第三柔性解耦件具有折弯部且与所述基座相连；以及

第四柔性解耦件和第二Y向柔性解耦件，所述第四柔性解耦件具有折弯部且与所述基座相连，所述第二Y向柔性解耦件沿Y向延伸且与所述终端平台相连。

7.根据权利要求6所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，

所述第一X向柔性解耦件与所述第二X向柔性解耦件相对Y向对称，所述第一柔性解耦件与所述第三柔性解耦件相对Y向对称；

所述第二柔性解耦件与所述第四柔性解耦件相对X向对称，所述第一Y向柔性解耦件与所述第二Y向柔性解耦件相对X向对称。

8.根据权利要求6所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第三柔性解耦件和所述第四柔性解耦件中的每一个为弧形、S形或Z形。

9.根据权利要求6所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第三柔性解耦件包括多个沿Y向延伸的第五连接件和至少一个沿X向延伸的第六连接件，其中多个所述第五连接件中的位于一端的一个与所述基座相连，相邻两个所述第五连接件通过所述第六连接件相连。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第四柔性解耦件包括多个沿X向延伸的第七连接件和至少一个沿Y向延伸的第八连接件，其中多个所述第七连接件中的位于一端的一个与所述基座相连，相邻两个所述第七连接件通过所述第八连接件相连。