[发明专利]一种新型单晶炉在审
申请号: | 201410566138.8 | 申请日: | 2014-10-21 |
公开(公告)号: | CN105525346A | 公开(公告)日: | 2016-04-27 |
发明(设计)人: | 王东芹;李中心 | 申请(专利权)人: | 镇江大成新能源有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/00 |
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地址: | 212006 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 单晶炉 | ||
1.一种新型单晶炉,包括炉体以及在炉体的内部设有保温筒、保温盖、石墨 坩埚、石英坩埚、导流筒和加热器,所述石墨坩埚的外侧安装有加热器,保温 筒位于加热器外,所述导流筒位于石墨坩埚上方,所述石英坩埚底部设有坩埚 托,所述坩埚托通过坩埚轴与炉底相固定,其特征在于,所述加热器分别通过 加热电极固定在炉体底部,并露出于炉底的下表面,所述炉体内壁与保温筒之 间填充有保温毡;所述保温筒上部与保温盖之间设有保温碳毡,所述导流筒的 底部伸入石英坩埚内。
2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉,其特征在于,所述保温毡的厚度 为78-92mm。
3.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉,其特征在于,所述保温碳毡的厚 度为40mm。
4.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉,其特征在于,所述炉体底部设有 软毡。
5.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉,其特征在于,所述导流筒的高度 为315mm-330mm,导流筒口径为205mm-235mm。
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