[发明专利]一种新型单晶炉在审

专利信息
申请号: 201410566138.8 申请日: 2014-10-21
公开(公告)号: CN105525346A 公开(公告)日: 2016-04-27
发明(设计)人: 王东芹;李中心 申请(专利权)人: 镇江大成新能源有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B15/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 212006 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 单晶炉
【权利要求书】:

1.一种新型单晶炉,包括炉体以及在炉体的内部设有保温筒、保温盖、石墨 坩埚、石英坩埚、导流筒和加热器,所述石墨坩埚的外侧安装有加热器,保温 筒位于加热器外,所述导流筒位于石墨坩埚上方,所述石英坩埚底部设有坩埚 托,所述坩埚托通过坩埚轴与炉底相固定,其特征在于,所述加热器分别通过 加热电极固定在炉体底部,并露出于炉底的下表面,所述炉体内壁与保温筒之 间填充有保温毡;所述保温筒上部与保温盖之间设有保温碳毡,所述导流筒的 底部伸入石英坩埚内。

2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉,其特征在于,所述保温毡的厚度 为78-92mm。

3.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉,其特征在于,所述保温碳毡的厚 度为40mm。

4.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉,其特征在于,所述炉体底部设有 软毡。

5.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉,其特征在于,所述导流筒的高度 为315mm-330mm,导流筒口径为205mm-235mm。

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