[发明专利]一种厚度测量方法及厚度测量系统

权利要求书

1.一种厚度测量方法，其特征在于，采用至少2组测量装置对被测产品进行厚度测量，各组测量装置的量程范围互不相同，至少采用1组X射线测量装置进行小量程测量。

2.根据权利要求1所述的厚度测量方法，其特征在于，采用1组X射线测量装置进行小量程测量。

3.根据权利要求1所述的厚度测量方法，其特征在于，所述非X射线测量装置采用电磁测量装置或激光测量装置。

4.根据权利要求1所述的厚度测量方法，其特征在于，所述被测产品是在加工过程中厚度逐渐降低的产品。

5.根据权利要求4所述的厚度测量方法，其特征在于，所述X射线测量装置的输出功率与被测产品的最终厚度相匹配。

6.根据权利要求4所述的厚度测量方法，其特征在于，至少两组测量装置根据被测产品厚度范围的变换进行切换，当被测产品的厚度进入一组测量装置的测量范围时，获取该组测量装置的测量值为确定测定值，其余测量装置的测量值放弃。

7.一种厚度测量系统，其特征在于，包括至少两组具有不同量程范围的测量装置，其中至少有1组测量装置为X射线测量装置，X射线测量装置为小量程测量装置。

8.根据权利要求7所述的厚度测量系统，其特征在于，所述厚度测量系统具有1组X射线测量装置。

9.根据权利要求7所述的厚度测量系统，其特征在于，所述非X射线测量装置采用电磁测量装置或激光测量装置。

10.根据权利要求7所述的厚度测量系统，其特征在于，所述X射线测量装置的输出功率与最终产品的厚度相匹配。