[发明专利]自动频率调谐阻抗匹配的匹配频率的获取方法和装置

权利要求书

1.一种自动频率调谐阻抗匹配的匹配频率的获取方法，其特征在于，包 括：

A、设置频率调谐过程中的第i步频率fi、第j步频率fj和第k步频率fk； 其中，j＝i+1，k＝j+1，i、j和k均为整数；

B、分别获取与第i步频率fi、第j步频率fj和第k步频率fk对应的预设 参数的第i参数值P_fi、第j参数值P_fj和第k参数值P_fk；其中，所述预设参数 为与负载阻抗相关的任意一个参数；所述预设参数与RF频率的关系为非线性 函数关系，所述非线性函数为具有极值的非线性函数；

C、根据所述第i步频率fi、第j步频率fj和第k步频率fk以及所述预设 参数的第i参数值P_fi、第j参数值P_fj和第k参数值P_fk以及预设算法，计算第 q步频率调谐的频率fq；其中，q＝k+1，q为整数；所述预设算法具有收敛性；

D、将所述第j步频率fj更新为第i步频率fi，将所述第k步频率fk更新 为第j步频率fj，将所述第q步频率fq更新为第k步频率fk；

E、判断所述fk与fj之差的绝对值是否小于第一阈值和/或所述P_fj与P_fk之差的绝对值是否小于第二阈值，以确定所述fk为匹配频率；

当所述fk与fj之差的绝对值小于第一阈值和/或所述P_fj与P_fk之差的绝对 值小于第二阈值时，确定所述fk为匹配频率；

当所述fk与fj之差的绝对值不小于第一阈值且当所述P_fj与P_fk之差的绝 对值不小于第二阈值时，循环执行步骤C至步骤E，直至所述fk与fj之差的 绝对值小于第一阈值和/或所述P_fj与P_fk之差的绝对值小于第二阈值。

2.根据权利要求1所述的获取方法，其特征在于，所述预设算法为牛顿 迭代算法，所述步骤C具体包括：

C1、根据所述第i步频率fi、第j步频率fj和第k步频率fk以及所述预设 参数的第i参数值P_fi、第j参数值P_fj和第k参数值P_fk，获取所述非线性函数 在RF频率为第k步频率fk时的一阶导数P’(fk)和二阶导数P”(fk)；

C2、根据所述第k步频率fk以及所述非线性函数在RF频率为第k步频 率fk时的一阶导数P’(fk)和二阶导数P”(fk)，计算第q步频率调谐的频率fq。

3.根据权利要求1所述的获取方法，其特征在于，所述判断所述fk与fj 之差的绝对值是否小于第一阈值和/或所述P_fj与P_fk之差的绝对值是否小于第 二阈值，以确定所述fk为匹配频率具体包括：

判断所述fk与fj之差的绝对值小于第一阈值，如果是，确定所述fk为匹 配频率，如果否，判断所述P_fj与P_fk之差的绝对值小于第二阈值，如果是，确 定所述fk为匹配频率。

4.根据权利要求2所述的获取方法，其特征在于，所述第q步频率调谐 频率fq具体通过以下公式计算得到：

fq=fk-P′(fk)P′′(fk).]]>