[发明专利]一种多晶铸锭籽晶熔化控制方法及多晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉，包括隔热笼、置于所述隔热笼内的热交换台、放置在所述热交换台上的坩埚、支撑热交换台的石墨支撑柱，其特征在于，还包括设置在坩埚底部边角部位的热电偶，所述热电偶位于所述坩埚下方，所述热电偶通过一支架固定在所述石墨支撑柱上，所述支架包括热电偶套管、连接管和支撑柱套管，所述连接管两端分别连接热电偶套管和支撑柱套管，所述支撑柱套管套设在所述石墨支撑柱外表面且可以以所述石墨支撑柱为轴进行旋转，所述热电偶包括测温端和固定端，所述热电偶套管套设在所述热电偶的固定端的外表面，所述热电偶的固定端的端面设有一滑块，所述滑块与所述热电偶套管的内管壁滑动连接，与所述热电偶固定端固定连接。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述热电偶为一个或多个。

3.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述热电偶的测温端的端面距坩埚底部的垂直距离为0～20mm，距离坩埚侧壁的水平距离为0～50mm。

4.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述多晶硅铸锭炉还包括固定在坩埚与热交换台之间的石墨护板，所述热电偶的测温端的端面距所述石墨护板底部的垂直距离为1～2mm。

5.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，沿所述坩埚底部中心位置向坩埚底部边缘位置辐射设置有多个热电偶。

6.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，沿所述坩埚底部的边缘设置有多个热电偶。