[发明专利]版图数据的处理方法及光掩膜数据有效
| 申请号： | 201410568446.4 | 申请日： | 2014-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN105589979B | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 游桂美;顾莉 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;张永明 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 版图 数据 处理 方法 光掩膜 | ||
1.一种版图数据的处理方法，其特征在于，所述处理方法包括：
对芯片数据和密封环数据进行逻辑运算以形成组合数据，所述组合数据中的图形由所述芯片数据和所述密封环数据中的图形加到一起构成；
将框架数据并入到所述组合数据中并转换形成光掩膜数据。
2.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述芯片数据和所述密封环数据中的图形为亮场，所述逻辑运算的步骤包括：对所述芯片数据和所述密封环数据进行逻辑或运算以形成所述组合数据。
3.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述芯片数据和所述密封环数据中的图形为暗场，所述逻辑运算的步骤包括：
对所述芯片数据和所述密封环数据进行逻辑或运算以形成预组合数据；以及
对所述预组合数据进行图形反转运算以形成所述组合数据。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的处理方法，其特征在于，采用版图设计软件进行所述逻辑运算。
5.根据权利要求4所述的处理方法，其特征在于，所述版图设计软件为L-EDIT软件。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的处理方法，其特征在于，形成所述光掩膜数据的步骤包括：
将所述框架数据并入到所述组合数据中以形成总数据；
通过图形转换软件将所述总数据转换形成所述光掩膜数据。
7.根据权利要求6所述的处理方法，其特征在于，所述图形转换软件为CATS。
8.根据权利要求1至3中任一项所述的处理方法，其特征在于，在进行所述逻辑运算的步骤之前，所述处理方法还包括将包含密封环和框架的数据拆分形成所述密封环数据和所述框架数据的步骤。
9.根据权利要求1至3中任一项所述的处理方法，其特征在于，所述芯片数据、所述密封环数据和框架数据的格式为GDS文件。
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