[发明专利]一种废气处理方法及其装置

权利要求书

1.一种废气处理方法，其特征在于：在反应器中将工业冷水和石灰液混合，将多晶硅生产后的蒸发废气与石灰乳液混合并发生分解及中和反应，反应过程中注入低压蒸汽，保持反应器内温度为25℃，反应过程中搅拌，反应后的产物进行过滤处理，滤饼脱水干燥，脱水后的滤液输送回反应器。

2.一种如权利要求1所述方法中使用的废气处理装置，其特征在于：包括并联的两个反应器，反应器外接过滤设备，内部设有搅拌装置，所述反应器外接共用的石灰液源和冷水源，所述反应器内设有pH检测仪，并控制所述两个反应器的开关。

3.如权利要求2所述废气处理装置，其特征在于：所述反应器上设有蒸汽发生器，内部设有温度检测器。

4.如权利要求2所述废气处理装置，其特征在于：所述过滤设备包括泵和过滤器，所述过滤器滤液出口连通所述冷水源。