[发明专利]温度传感器

权利要求书

1.一种温度传感器，包括：

衬底(1)；

铂电阻(2)，布置在所述衬底(1)上；

保护层(4)，覆盖所述铂电阻(2)；

覆盖层(5)，覆盖所述保护层(4)；

所述覆盖层(5)包含Al₂O₃和Si₂O；

其特征在于，所述覆盖层(5)还包含Y₂O₃。

2.根据权利要求1所述的温度传感器，其特征在于，所述覆盖层(5)包含至少5％重量的Y₂O₃，优选至少10％重量的Y₂O₃。

3.根据前述权利要求任一项所述的温度传感器，其特征在于，所述覆盖层(5)包含的Si₂O的重量大于Al₂O₃的重量。

4.根据前述权利要求任一项所述的温度传感器，其特征在于，所述覆盖层(5)包含的Al₂O₃的重量大于Y₂O₃的重量。

5.根据前述权利要求任一项所述的温度传感器，其特征在于，所述覆盖层(5)包含小于30％重量的Y₂O₃，优选为小于20％重量的Y₂O₃。

6.根据前述权利要求任一项所述的温度传感器，其特征在于，所述覆盖层(5)包含15％-30％重量的Al₂O₃，优选20％-25％重量的Al₂O₃。

7.根据前述权利要求任一项所述的温度传感器，其特征在于，所述覆盖层(5)包含30％-70％重量的Si₂O，优选40％-60％重量的Si₂O。

8.根据前述权利要求任一项所述的温度传感器，其特征在于，所述覆盖层(5)包含0％-25％重量的B₂O₃，优选1％-20％重量的B₂O₃。

9.根据前述权利要求任一项所述的温度传感器，其特征在于，所述覆盖层(5)还包含小于20％重量，优选小于10％重量，且不是Al₂O₃、Si₂O、Y₂O₃或B₂O₃的成分。

10.根据前述权利要求任一项所述的温度传感器，其特征在于，所述覆盖层(5)是釉层。