[发明专利]非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置有效

专利信息
申请号: 201410572503.6 申请日: 2014-10-22
公开(公告)号: CN104474855A 公开(公告)日: 2015-04-01
发明(设计)人: 王春锐;谢冀江;郭劲;潘其坤;邵春雷 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: B01D53/75 分类号: B01D53/75;B01D53/82;B01D53/68
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 王丹阳
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 链式 df hf 激光器 放电 生成物 小型化 处理 装置
【权利要求书】:

1.非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,包括:金属壳(1)及一个以上的净化单元(2);

所述净化单元(2)为密封结构,包括吸附剂仓室、进气管(3)和排气管(4);

所述吸附剂仓室设定在金属壳(1)内,由从下至上依次排列的第一过渡仓室(5)、第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)和第二过渡仓室(9)组成,所述第一过渡仓室(5)、第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)和第二过渡仓室(9)两两之间的接触面均为过滤网(10),所述第一仓室(6)、第二仓室(7)和第三仓室(8)均用于放置吸附剂;

所述进气管(3)和排气管(4)均贯穿金属壳(1),进气管(3)的一端与激光器放电生成物连通,进气管(3)的另一端与第一过渡仓室(5)连通,排气管(4)的一端与第二过渡仓室(9)连通,排气管(4)的另一端与大气连通,进气管(3)和排气管(4)上均设有密封阀;

所述金属壳(1)上设有分别与第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)贯通的填料口(11),通过填料口(11)分别装填和卸载第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)中的吸附剂;

所述填料口(11)上设有用于密封填料口(11)的密封盖(12)。

2.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,所述第一仓室(6)中的吸附剂为生石灰或者碱石灰,第二仓室(7)中的吸附剂为活性氧化铝,第三仓室(8)中的吸附剂为活性炭或者多孔分子筛材料。

3.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,所述金属壳(1)为圆柱体,当净化单元(2)为多个时,每个净化单元(2)的吸附剂仓室均为截面为扇形的柱状结构,多个净化单元(2)的吸附剂仓室在金属壳(1)内沿圆周均匀分布。

4.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,当净化单元(2)为多个时,相邻的净化单元(2)均通过隔离仓(14)隔开,多个净化单元(2)彼此隔离封闭。

5.根据权利要求4所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,所述净化单元(2)为四个,隔离仓(14)为截面为十字形的柱状结构。

6.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,当净化单元(2)为多个时,不同的两个净化单元(2)之间由导气管(13)相互连接,导气管(13)的一端与一个净化单元(2)的第一过渡仓室(5)连通,导气管(13)的另一端与另一个净化单元(2)的第二过渡仓室(9)连通。

7.根据权利要求4所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,当净化单元(2)为多个时,不同的两个净化单元(2)之间由导气管(13)相互连接,导气管(13)的一端与一个净化单元(2)的第一过渡仓室(5)连通,导气管(13)的另一端与另一个净化单元(2)的第二过渡仓室(9)连通,所述导气管(13)设置在隔离仓(14)的内部。

8.根据权利要求6或7所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,所述导气管(13)上设有密封阀。

9.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,所述过滤网(10)的材料为不锈钢。

10.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,所述金属壳(1)为密封结构,所述过滤网(10)的边缘固定在金属壳(1)的内表面上,所述第一过渡仓室(5)的下表面和第二过渡仓室(9)的上表面均为金属壳(1)的内表面,第一过渡仓室(5)、第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)和第二过渡仓室(9)的侧面均为金属壳(1)的内表面。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410572503.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top