[发明专利]非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置有效
申请号: | 201410572503.6 | 申请日: | 2014-10-22 |
公开(公告)号: | CN104474855A | 公开(公告)日: | 2015-04-01 |
发明(设计)人: | 王春锐;谢冀江;郭劲;潘其坤;邵春雷 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | B01D53/75 | 分类号: | B01D53/75;B01D53/82;B01D53/68 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 王丹阳 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 链式 df hf 激光器 放电 生成物 小型化 处理 装置 | ||
1.非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,包括:金属壳(1)及一个以上的净化单元(2);
所述净化单元(2)为密封结构,包括吸附剂仓室、进气管(3)和排气管(4);
所述吸附剂仓室设定在金属壳(1)内,由从下至上依次排列的第一过渡仓室(5)、第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)和第二过渡仓室(9)组成,所述第一过渡仓室(5)、第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)和第二过渡仓室(9)两两之间的接触面均为过滤网(10),所述第一仓室(6)、第二仓室(7)和第三仓室(8)均用于放置吸附剂;
所述进气管(3)和排气管(4)均贯穿金属壳(1),进气管(3)的一端与激光器放电生成物连通,进气管(3)的另一端与第一过渡仓室(5)连通,排气管(4)的一端与第二过渡仓室(9)连通,排气管(4)的另一端与大气连通,进气管(3)和排气管(4)上均设有密封阀;
所述金属壳(1)上设有分别与第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)贯通的填料口(11),通过填料口(11)分别装填和卸载第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)中的吸附剂;
所述填料口(11)上设有用于密封填料口(11)的密封盖(12)。
2.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,所述第一仓室(6)中的吸附剂为生石灰或者碱石灰,第二仓室(7)中的吸附剂为活性氧化铝,第三仓室(8)中的吸附剂为活性炭或者多孔分子筛材料。
3.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,所述金属壳(1)为圆柱体,当净化单元(2)为多个时,每个净化单元(2)的吸附剂仓室均为截面为扇形的柱状结构,多个净化单元(2)的吸附剂仓室在金属壳(1)内沿圆周均匀分布。
4.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,当净化单元(2)为多个时,相邻的净化单元(2)均通过隔离仓(14)隔开,多个净化单元(2)彼此隔离封闭。
5.根据权利要求4所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,所述净化单元(2)为四个,隔离仓(14)为截面为十字形的柱状结构。
6.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,当净化单元(2)为多个时,不同的两个净化单元(2)之间由导气管(13)相互连接,导气管(13)的一端与一个净化单元(2)的第一过渡仓室(5)连通,导气管(13)的另一端与另一个净化单元(2)的第二过渡仓室(9)连通。
7.根据权利要求4所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,当净化单元(2)为多个时,不同的两个净化单元(2)之间由导气管(13)相互连接,导气管(13)的一端与一个净化单元(2)的第一过渡仓室(5)连通,导气管(13)的另一端与另一个净化单元(2)的第二过渡仓室(9)连通,所述导气管(13)设置在隔离仓(14)的内部。
8.根据权利要求6或7所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,所述导气管(13)上设有密封阀。
9.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,所述过滤网(10)的材料为不锈钢。
10.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,其特征在于,所述金属壳(1)为密封结构,所述过滤网(10)的边缘固定在金属壳(1)的内表面上,所述第一过渡仓室(5)的下表面和第二过渡仓室(9)的上表面均为金属壳(1)的内表面,第一过渡仓室(5)、第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)和第二过渡仓室(9)的侧面均为金属壳(1)的内表面。
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