[发明专利]缓冲氧化腐蚀液制备方法

权利要求书

1.一种缓冲氧化腐蚀液制备方法，其特征在于所述方法是先将40%的电子级氢氟酸加入到反应釜中，然后将99.9%的高纯氨气经过水洗后，通入到反应釜中进行反应，并通过反应釜的内盘管进行冷却，再添加占釜内液体总质量万分之0.1-2的表面活性剂，混合均匀，过滤出料即可；

所述表面活性剂由表面活性剂op-10：表面活性剂TX-6：聚乙二醇：三聚甘油单硬脂酸酯=1:0.1-10:1-3:0.2-0.8的质量比配合而成。

2.根据权利要求1所述的缓冲氧化腐蚀液制备方法，其特征在于所述表面活性剂的用万分之0.1-0.5。

3.根据权利要求1或2所述的缓冲氧化腐蚀液制备方法，其特征在于所述表面活性剂的各物质质量配比关系为：表面活性剂op-10：表面活性剂TX-6：聚乙二醇：PGE = 1:0.5-2:1-3:0.3-0.7。

4.根据权利要求3所述的缓冲氧化腐蚀液制备方法，其特征在于所述表面活性剂的各物质质量配比关系为：表面活性剂op-10：表面活性剂TX-6：聚乙二醇：PGE = 1:2:3:0.5。