[发明专利]一种复合介质膜声表面波器件有效
| 申请号： | 201410579610.1 | 申请日： | 2014-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN104320102A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 陈培杕;王祥邦;何朝峰;刘建勇;肖功亚;高琳 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 张苏沛 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 复合 介质 表面波 器件 | ||
【权利要求书】：
1.一种复合介质膜声表面波器件，包括器件主体，其特征在于：器件芯片表面叠加一复合介质膜，该复合介质膜由泛薄底层和条阵结构表层构成。
2.根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于：所述条阵结构表层介质膜的温度系数与压电基片的温度系数相反。
3.根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于：所述条阵结构表层的条方向沿声表面波传播方向延伸。
4.根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于：所述复合介质膜的底层和表层为不同介质。
5.根据权利要求4所述的复合介质膜，其特征在于：两层介质具有不同的工艺选择性。
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