[发明专利]基板断线修复方法和装置在审

专利信息
申请号: 201410583351.X 申请日: 2014-10-27
公开(公告)号: CN104409320A 公开(公告)日: 2015-03-11
发明(设计)人: 张祥 申请(专利权)人: 昆山国显光电有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L21/67
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 唐清凯
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 断线 修复 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种基板断线修复方法,其特征在于,包括以下步骤:

将还原剂与银氨溶液混合,得到混合液A;

将所述混合液A涂覆在基板的断线位置,完成基板的断线修复。

2.根据权利要求1所述的基板断线方法,其特征在于,在所述将还原剂与银氨溶液混合,得到混合液A的步骤中,还包括控制所述还原剂和所述银氨溶液流量的步骤。

3.根据权利要求1所述的基板断线方法,其特征在于,在所述完成基板的断线修复的步骤后,还有将剩余的所述银氨溶液回收的步骤。

4.根据权利要求3所述的基板断线方法,其特征在于,所述将剩余的所述银氨溶液回收的步骤包括:

采用纯净水对盛放所述银氨溶液的容器进行清洗,回收得到清洗液;

向所述清洗液中加入盐酸溶液,生成氯化银固体,回收剩余的所述银氨溶液。

5.根据权利要求1-4任一项所述的基板断线方法,其特征在于,所述银氨溶液的制作方法为:

将硝酸银溶液和氨水混合,得到所述银氨溶液。

6.一种基板断线修复装置,其特征在于,

包括银氨溶液存储单元、还原剂存储单元和修复单元;

所述还原剂存储单元与所述修复单元通过管道连接,所述银氨溶液存储单元与所述修复单元通过管道连接;

所述修复单元设有涂覆口。

7.根据权利要求6所述的基板断线修复装置,其特征在于,还包括控制单元,所述控制单元分别与所述还原剂存储单元、银氨溶液存储单元和修复单元连接。

8.根据权利要求6所述的基板断线修复装置,其特征在于,还包括回收单元,所述回收单元与所述修复单元通过管道连接。

9.根据权利要求8所述的基板断线修复装置,其特征在于,所述回收单元包括第一清洗室、第二清洗室和回收箱,所述第一清洗室与所述银氨溶液存储单元通过管道连接,所述回收箱与所述银氨溶液存储单元通过管道连接,所述第二清洗室与所述回收箱连接。

10.根据权利要求6-9任一项所述的基板断线修复装置,其特征在于,所述银氨溶液存储单元包括第一原料室、第二原料室和反应室,所述第一原料室与所述反应室通过管道连接,所述第二原料室与所述反应室通过管道连接,所述反应室与所述修复单元通过管道连接。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山国显光电有限公司,未经昆山国显光电有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410583351.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top