[发明专利]一种柔性基底金属微针阵列的制作方法

权利要求书

1.一种柔性基底金属微针阵列的制作方法，所述柔性基底金属微针阵列包括柔性基底（1）、微针阵列（2），其中微针阵列（2）固定在柔性基底（1）上；

 其特征在于，所述柔性基底金属微针阵列的制作方法包括下列步骤：

a.制作可凝固铁磁性流体；

b.制备柔性基底（1）；

c.将可凝固铁磁性流体的液滴呈阵列状地布置在柔性基底（1）上，形成可凝固铁磁性流体液滴阵列与柔性基底的组合体（7）；

d.将步骤c中获得的可凝固铁磁性流体液滴阵列与柔性基底的组合体（7）置于磁场中，使每个液滴变化成针状，然后使其固化，形成稳定的、固化的微针阵列结构；

e.在步骤d所得的微针阵列结构表面真空溅镀一层金属，形成柔性基底金属微针阵列。

2.根据权利要求1所述的柔性基底金属微针阵列的制作方法，其特征在于，所述可凝固铁磁性流体包括：磁性纳米或微米颗粒、高分子材料及固化剂。

3.根据权利要求1所述的柔性基底金属微针阵列的制作方法，其特征在于，所述柔性基底的材质为选自PDMS、橡胶、环氧树脂、硅胶、涤纶与棉的中的一种或多种的组合。

4.根据权利要求1所述的柔性基底金属微针阵列的制作方法，其特征在于，所述“将可凝固铁磁性流体的液滴呈阵列状地布置在柔性基底（1）上”的方法为：将孔模（5）紧贴放置在柔性基底（1）的上表面，然后在孔模（5）的上表面涂刷可凝固铁磁性流体，之后移除孔模（5）及其上的多余可凝固铁磁性流体，在柔性基底（1）的上表面留下液滴阵列。

5.根据权利要求1所述的柔性基底金属微针阵列的制作方法，其特征在于，所述“将可凝固铁磁性流体的液滴呈阵列状地布置在柔性基底（1）上”的方法为：将可凝固铁磁性流体装入孔模（5）和活塞及筒壁组成的空腔内，通过活塞施加压力使得可凝固铁磁性流体从孔模（5）的小孔流出，并附着在柔性基底（1）上形成液滴阵列。

6.根据权利要求1所述的柔性基底金属微针阵列的制作方法，其特征在于，所述“将可凝固铁磁性流体的液滴呈阵列状地布置在柔性基底（1）上”的方法为：采用空心针模（6），以向柔性基底（1）注出的方式形成液滴阵列。

7.根据权利要求1所述的柔性基底金属微针阵列的制作方法，其特征在于，所述“将可凝固铁磁性流体的液滴呈阵列状地布置在柔性基底（1）上”的方法为：采用实心针模（6），以实心针模（6）蘸取适量的可凝固铁磁性流体并将其附着到柔性基底（1）上生成液滴阵列。

8.根据权利要求1所述的柔性基底金属微针阵列的制作方法，其特征在于，所述步骤d中的固化为：采用加热固化或光线照射固化。

9.根据权利要求8所述的柔性基底金属微针阵列的制作方法，其特征在于，所述加热固化为：在柔性基底（1）底部设置加热膜（4），利用加热膜（4）进行加热固化。

10.根据权利要求9所述的柔性基底金属微针阵列的制作方法，其特征在于，所述加热膜（4）为碳纤维加热膜。