[发明专利]传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置

权利要求书

1.一种传感器元件，其特征在于，

具备层叠体，所述层叠体沿层叠方向层叠有多个传感器，所述传感器具有：由水晶板构成的至少1张压电板；和分别设置于该压电板的两面的电极层，

所述层叠体具有将各个所述传感器沿所述层叠方向接合的接合层。

2.根据权利要求1所述的传感器元件，其特征在于，

设置于所述压电板的一个面的电极层的热膨胀系数与设置于所述压电板的另一个面的电极层的热膨胀系数在实际使用上一致。

3.根据权利要求1或2所述的传感器元件，其特征在于，

多个所述传感器的各个所述电极层的热膨胀系数彼此在实际使用上一致。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的传感器元件，其特征在于，

所述接合层的厚度为0.2μm以上2.0μm以下。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的传感器元件，其特征在于，

在所述层叠体中，所述接合层分别设置于多个所述传感器之间。

6.一种力检测装置，其特征在于，具备：

传感器元件；和

外力检测电路，其基于从所述传感器元件输出的电压来检测外力，

所述传感器元件具备：

多个传感器，所述传感器具有由水晶板构成的至少1张压电板和分别设置于该压电板的两面的电极层；和

层叠体，其沿层叠方向层叠有多个所述传感器，

所述层叠体具有沿所述层叠方向接合的接合层。

7.根据权利要求6所述的力检测装置，其特征在于，

设有3个以上所述传感器元件。

8.一种机器人，其特征在于，具备：

至少一个臂连结体，所述臂连结体具有多条臂，并将所述多条臂的相邻的所述臂彼此连结为自由转动；

末端执行器，其设置于所述臂连结体的前端侧；以及

权利要求6或7所述的力检测装置，所述力检测装置设置于所述臂连结体与所述末端执行器之间，并对施加于所述末端执行器的外力进行检测。

9.一种电子部件输送装置，其特征在于，具备：

把持电子部件的把持部；和

权利要求6或7所述的力检测装置，所述力检测装置对施加于所述把持部的外力进行检测。

10.一种电子部件检查装置，其特征在于，具备：

把持电子部件的把持部；

检查所述电子部件的检查部；以及

权利要求6或7所述的力检测装置，所述力检测装置对施加于所述把持部的外力进行检测。

11.一种部件加工装置，其特征在于，具备：

安装工具并使所述工具位移的工具位移部；和

权利要求6或7所述的力检测装置，所述力检测装置对施加于所述工具的外力进行检测。