[发明专利]用于位置确定的装置

权利要求书

1.用于位置确定的装置，具有

-光源，

-平的测量反射器，所述测量反射器至少可沿着测量方向移动，其中所述测量方向关于测量反射器垂直定向以及

-检测器装置，

-其中至少一个从所述光源发射的射线束在施加测量反射器之后碰到所述检测器装置，使得在测量反射器沿着测量方向运动的情况下产生至少一个信号，所述信号依赖于测量反射器的位置并且可从所述信号产生定义的参考位置上的参考信号，

其特征在于，

所述射线束两次施加到所述测量反射器(M；1；101；201)并且在测量反射器(M；1；101；201)的施加之间通过转向单元(U；16；116；216)，所述转向单元被设计成，在第一反射之后由测量反射器倾斜导致的射线束的辐射方向偏差在第二反射之后补偿，而且

沿着所述光源(11；111；211)和所述转向单元(U；16；116；216)之间的射线束的光路布置第一透射光栅(14；114；214)，并且在所述转向单元(U；16；116；216)和所述检测器装置(18；118；218)之间布置第二透射光栅(17；117；217)。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述转向单元(U；16；116；216)包括一个或多个光学元件并且被设计成，相对于不倾斜的测量反射器(M；1；101；201)上的法线(N)在角度θ下第一次射入的射线束(S_in)在所述测量反射器(M；1；101；201)关于倾斜轴以角度α倾斜的情况下在通过转向单元(U；16；116；216)之后相对于不倾斜的测量反射器(M；1；101；201)上的法线(N)在角度θ–2α下第二次射入测量反射器(M；1；101；201)。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述转向单元(U；16；116；216)包括一个或多个光学元件，其

-对射入测量反射器(M；1；101；201)的发散的射线束(S_IN)给予会聚的光学效果，或

-对射入测量反射器(M；1；101；201)的会聚的射线束(S_IN)给予发散的光学效果。

4.如权利要求2所述的装置，其特征在于，至少一个光学元件被设计为折射或衍射光学部件。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，作为衍射光学部件的所述转向单元(U；16；116；216)包括第一和第二转向光栅(15.1，15.2；115.1，115.2；215.1a，215.1b，215.2a，215.2b)。

6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述转向单元(U；16；116；216)包括一个或多个光学元件并被设计成，在射入面中实现第一次射入测量反射器(M；1；101；201)的射线束(S_IN)到在第二反射之后从测量反射器(M；1；101；201)离开传播的射线束(S_OUT)的镜像对称的投影。

7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，两个透射光栅(14；114；214；17；117；217)所述转向单元(U；16；116；216)和所述测量反射器(M；1；101；201)如此相对彼此布置，使得射线束在第一和第二透射光栅(14；114；214；17；117；217)的通过之间在两个碰撞位置(A1，A2)上施加到测量反射器(M；1；101；201)，所述碰撞位置沿着第一方向(x)彼此间隔，所述第一方向平行于射线束的射入方向定向到所述第一透射光栅(14；114；214)。

8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光源(11；111；211)，所述第一和第二透射光栅(14；114；214；17；117；217)，所述转向单元(U；16；116；216)和所述检测器装置(18；118；218)布置在探测单元(10；110；210)中，所述探测单元布置成可相对于测量反射器(M；1；101；201)沿着测量方向(z)移动。