[发明专利]N型HIT太阳能电池结构有效

专利信息
申请号: 201410591937.0 申请日: 2014-10-29
公开(公告)号: CN104393063B 公开(公告)日: 2017-02-15
发明(设计)人: 张天明 申请(专利权)人: 四川亚欧鼎新能源科技有限公司
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224
代理公司: 成都弘毅天承知识产权代理有限公司51230 代理人: 杨保刚
地址: 610000 四川省成都市*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: hit 太阳能电池 结构
【权利要求书】:

1.一种N型HIT太阳能电池结构:包括N型单晶硅片(1)、N型单晶硅片(1)正反面沉积本征非晶硅膜(2),在正面的本征非晶硅薄膜(2)上依次沉积P型重掺杂非晶硅膜(3)、SiO2薄膜(5)和p型掺杂石墨烯薄膜(7),在正面P型掺杂石墨烯薄膜(7)上印刷银金属栅线正电极(9);在N型单晶硅片背面的本征非晶硅薄膜(2)上依次沉积N型重掺杂非晶硅薄膜(4)、沉积Al2O3薄膜(6)和IWO透明导电薄膜(8),在背面透明的IWO导电薄膜(8)上印刷银金属栅线负电极(10)。

2.根据权利要求1所述的N型HIT太阳能电池结构,其特征在于,所述的p型掺杂石墨烯薄膜(7)的石墨烯的掺杂浓度为1013cm-2

3.根据权利要求1所述的N型HIT太阳能电池结构,其特征在于,所述的本征非晶硅层(2)、N型重掺杂非晶硅层(4)、P型重掺杂非晶硅层(3)、SiO2薄膜(5)、Al2O3薄膜(6)缓冲层均采用PECVD沉积。

4.根据权利要求1所述的N型HIT太阳能电池结构,其特征在于,所述的本征非晶硅层(2)厚度在5-15nm。

5.根据权利要求1所述的N型HIT太阳能电池结构,其特征在于,所述的IWO薄膜(8)采用脉冲激光沉积法进行沉积,沉积的厚度约为80nm。

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