[发明专利]多晶硅氢化尾气回收系统及尾气利用方法

权利要求书

1.多晶硅氢化尾气回收系统，其特征在于，包括：

氯化氢储罐，存储来自精馏塔顶部的低温氯化氢液体；

吸收塔富液换热器，所述吸收塔富液换热器接收吸收塔富液和解析塔的氯化硅贫液，所述吸收塔富液和氯化硅贫液在所述吸收塔富液换热器内换热；

氯化氢蒸发器，其管程入口与吸收塔富液换热器连接，换热后的氯硅烷贫液进入氯化氢蒸发器的管程，所述氯化氢蒸发器的壳程入口连接氯化氢储罐；

氟利昂蒸发器，连接氯化氢蒸发器管程的出口，所述氟利昂蒸发器对来自氯化氢蒸发器管程的氯硅烷贫液制冷后送入吸收塔；

去精馏氯硅烷换热器，连接氯化氢蒸发器壳程出口，来自氯化氢蒸发器壳程的氯化氢在去精馏氯硅烷换热器内与去精馏的氯硅烷换热后输送至三氯氢硅合成。

2.根据权利要求1所述的多晶硅氢化尾气回收系统，其特征在于，所述氯化氢蒸发器的管程的入口与出口通过第一旁路管道连接，所述第一旁路管道上及第一旁路管道与氯化氢蒸发器的管程的出入口之间分别设有阀门。

3.根据权利要求1所述的多晶硅氢化尾气回收系统，其特征在于，所述氯化氢储罐与氯化氢蒸发器之间设有氯化氢流量调节阀。

4.根据权利要求1所述的多晶硅氢化尾气回收系统，其特征在于，所述氯化氢蒸发器的壳程的入口与出口通过第二旁路管道连接，所述第二旁路管道上及第二旁路管道与氯化氢蒸发器的壳程的出入口之间分别设有阀门。

5.多晶硅氢化尾气利用方法，其特征在于，包括如下步骤；

来自解析塔的氯化硅贫液与吸收塔富液换热；

换热后的氯化硅贫液作为热媒与作为冷媒的低温氯化氢液体进行热交换；

与氯化氢液体换热后的氯化硅贫液经深冷后用做吸收塔吸收剂吸收分离氢化反应中产生的氯化氢气体；

与氯化硅贫液换热后的氯化氢作为冷媒与作为热媒的去精馏车间的氯硅烷再次换热后送至三氯氢硅合成。

6.根据权利要求5所述的多晶硅氢化尾气利用方法，其特征在于，与氯化硅贫液换热的氯化氢液体的流量根据氢化反应过程中产生的氯化氢量来调节。

7.根据权利要求5所述的多晶硅氢化尾气利用方法，其特征在于，与吸收塔富液换热后-15℃～-20℃的氯化硅贫液与-40℃的氯化氢液体换热后温度降至-20℃～-25℃，-20℃～-25℃的氯化硅贫液深冷至-42℃～-44℃后用作吸收塔吸收剂吸收分离氢化反应中产生的氯化氢气体；与氯化硅贫液换热后的氯化氢温度升至-15℃～-20℃，将-15℃～-20℃氯化氢气体通过去精馏车间的30℃～35℃氯硅烷再次加热后送至三氯氢硅合成。