[发明专利]一种背面钝化太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种背面钝化太阳能电池，其特征在于，包括背面电极、全铝背电场、背面钝化层、局部铝背场、P型硅、N型发射极、钝化膜和正面电极；所述背面电极、全铝背电场、背面钝化层、P型硅、N型发射极、钝化膜和正面电极从下至上依次连接，所述局部铝背场由腐蚀铝浆腐蚀所述背面钝化层烧结后形成，分别与所述全铝背电场和所述P型硅连接；

所述局部铝背场为一组平行排列的直条组，均匀分布在背面钝化层内。

2.如权利要求1所述背面钝化太阳能电池，其特征在于，所述局部铝背场面积占所述背面钝化层面积的1%-10%。

3.如权利要求2所述背面钝化太阳能电池，其特征在于，所述局部铝背场的直条宽度为20-30μm，条数为80-150条。

4.如权利要求1所述背面钝化太阳能电池，其特征在于，所述局部铝背场通过丝网印刷或喷墨方式在所述背面钝化层上印刷腐蚀铝浆烧结后形成。

5.如权利要求1所述背面钝化太阳能电池，其特征在于，所述背面钝化层为Al₂O₃/SiN_x复合层或者SiO₂/SiN_x复合层。

6.如权利要求1所述背面钝化太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）在硅片正面形成绒面，所述硅片为P型硅；

（2）在所述硅片正面进行扩散，形成N型发射极；

（3）去除扩散过程形成的磷硅玻璃；

（4）在硅片背面沉积三氧化二铝或者二氧化硅；

（5）在三氧化二铝层或者二氧化硅层上沉积氮化硅，形成背面钝化层；

（6）在所述硅片正面形成氮化硅减反射的钝化膜；

（7）在所述硅片背面印刷背电极浆料，烘干；

（8）在所述硅片背面采用丝网印刷或喷墨方式印刷腐蚀铝浆，烘干；

（9）在所述硅片背面印刷全铝背电场浆料，覆盖住腐蚀铝浆，形成全铝背电场，烘干；

（10）在所述硅片正面印刷正电极浆料；

（11）将硅片进行高温烧结，烧结过程中腐蚀铝浆腐蚀背面钝化层，形成连接全铝背电场和P型硅的局部铝背场；

所述步骤（8）中采用直条平行排列方式印刷腐蚀铝浆。

7.如权利要求6所述背面钝化太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述局部铝背场面积占所述背面钝化层面积的1%-10%。

8.如权利要求7所述背面钝化太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述局部铝背场的直条宽度为20-30μm，条数为80-150条。

9.如权利要求6所述背面钝化太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述背面钝化层为Al₂O₃/SiN_x复合层或者SiO₂/SiN_x复合层。

10.如权利要求6所述背面钝化太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述背面钝化层中Al₂O₃或SiO₂ 沉积厚度为5-50nm，SiN_x沉积厚度为50-200。