[发明专利]一种电感耦合等离子体陶瓷窗冷却装置

权利要求书

1.一种电感耦合等离子体陶瓷窗冷却装置，该冷却装置设置于电感耦合等离子体反应器（100）的容器腔体（110）顶部，使得容器腔体（110）内部密封；其特征在于，该冷却装置包含：

圆柱筒支架（10），所述圆柱筒支架（10）横截面呈环形；

绝缘板（20），所述绝缘板（20）与所述的圆柱筒支架（10）底部通过支撑部件固定连接，所述绝缘板（20）与所述圆柱筒支架（10）之间设有间隙；

第一线圈（30），设置在所述的圆柱筒支架（10）内的所述绝缘板（20）上；

第二线圈组件（40），设置在所述的绝缘板（20）上方中部，且所述第二线圈组件（40）包括圆柱状的绝缘柱腔体（41）以及绕置在所述绝缘柱腔体（41）外部的第二线圈（42）；

风扇（50），固定设置在所述的圆柱筒支架（10）内顶部；

多个导流环（60），均匀环绕设置在所述的圆柱筒支架（10）内壁，环绕设置在所述的第二线圈组件（40）周边。

2.如权利要求1所述的电感耦合等离子体陶瓷窗冷却装置，其特征在于，所述的第一线圈（30）均匀平铺设置在所述的绝缘板（20）上。

3.如权利要求2所述的电感耦合等离子体陶瓷窗冷却装置，其特征在于，所述的风扇（50）设置在所述的第二线圈组件（40）上方的所述的圆柱筒支架（10）上。

4.如权利要求3所述的电感耦合等离子体陶瓷窗冷却装置，其特征在于，所述的绝缘柱腔体（41）内部空间通过所述绝缘板（20）上的开口与所述容器腔体（110）相通；所述的第一线圈（30）设置在该绝缘柱腔体（41）周边；所述绝缘柱腔体（41）内部设有反应气体注入口。

5.如权利要求4所述的电感耦合等离子体陶瓷窗冷却装置，其特征在于，每个所述的导流环（60）截面呈三角形。

6.如权利要求4所述的电感耦合等离子体陶瓷窗冷却装置，其特征在于，所述的导流环（60）截面呈梯形。

7.如权利要求5或6所述的电感耦合等离子体陶瓷窗冷却装置，其特征在于，所述的多个导流环（60）分别等间距叠加设置在所述的圆柱筒支架（10）内壁。

8.如权利要求5或6所述的电感耦合等离子体陶瓷窗冷却装置，其特征在于，所述的多个导流环（60）的斜表面（601）与所述的第二线圈（42）相对应设置；所述的多个导流环（60）与所述的第二线圈（42）之间设有间隙。

9.如权利要求3所述的电感耦合等离子体陶瓷窗冷却装置，其特征在于，每个所述的导流环（60）采用塑料制成。

10.一种电感耦合等离子体反应器，设有容器腔体（110），其特征在于，该反应器还设有电感耦合等离子体陶瓷窗冷却装置；所述的电感耦合等离子体陶瓷窗冷却装置包含：

圆柱筒支架（10）；

绝缘板（20），所述的绝缘板（20）的顶部与所述的圆柱筒支架（10）底部通过支撑部件连接，该绝缘板（20）与该圆柱筒支架（10）之间设有间隙；该绝缘板（20）的底部与所述的容器腔体（110）顶部匹配连接；

第一线圈（30），设置在所述的圆柱筒支架（10）内；

第二线圈组件（40），设置在所述的绝缘板（20）中部；

风扇（50），固定设置在所述的圆柱筒支架（10）内顶部；

多个导流环（60），均匀环绕设置在所述的圆柱筒支架（10）内壁，环绕设置在所述的第二线圈组件（40）周边。

11.如权利要求10所述的电感耦合等离子体反应器，其特征在于，所述的第一线圈（30）均匀平铺设置在所述的绝缘板（20）上。

12.如权利要求11所述的电感耦合等离子体反应器，其特征在于，所述的风扇（50）设置在所述的第二线圈组件（40）上方的所述的圆柱筒支架（10）上。