[发明专利]一种白光发光二极管的制作方法及白光发光二极管有效
申请号: | 201410596549.1 | 申请日: | 2014-10-29 |
公开(公告)号: | CN104393148A | 公开(公告)日: | 2015-03-04 |
发明(设计)人: | 尹灵峰;谢鹏;韩涛;徐谨;张威;王江波;刘榕 | 申请(专利权)人: | 华灿光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L33/50 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 徐立 |
地址: | 430223 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 白光 发光二极管 制作方法 | ||
1.一种白光发光二极管的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:
在基板上形成玻璃凸点的阵列,每个所述玻璃凸点中掺有荧光粉;
在所述阵列和所述基板上形成AlN膜;
在所述AlN膜上依次生长N型层、发光层、以及P型层;
在所述P型层上开设从所述P型层延伸到所述N型层的凹槽;
在所述P型层上形成金属反射层;
在所述金属反射层上设置P电极,在所述N型层上设置N电极。
2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述在基板上形成玻璃凸点的阵列,每个所述玻璃凸点中掺有荧光粉,包括:
在基板上铺上一层粉末状的玻璃材料,所述粉末状的玻璃材料中掺有荧光粉;
通过升温使所述玻璃材料处于熔融状态;
对处于熔融状态的所述玻璃材料降温,使所述玻璃材料处于半熔融状态;
采用纳米压印技术,将处于半熔融状态的所述玻璃材料图形化,从而在所述基板上形成所述玻璃凸点的阵列。
3.根据权利要求2所述的制作方法,其特征在于,所述通过升温将所述玻璃材料处于熔融状态的温度为900-1300℃,所述对处于熔融状态的所述玻璃材料降温的温度为500-1000℃。
4.根据权利要求2所述的制作方法,其特征在于,所述玻璃材料采用硅酸盐、铝硅酸盐、硼硅酸盐、硼酸盐、磷酸盐中的一种或多种制成。
5.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述玻璃凸点的最大直径为1-10μm,所述玻璃凸点的高度为1-10μm,两个所述玻璃凸点之间的最小距离为1-20μm。
6.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述荧光粉为钇铝石榴石YAG铝酸盐荧光粉、氮化物荧光粉或者硫化物荧光粉。
7.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述在所述阵列和所述基板上形成AlN膜,包括:
在所述阵列和所述基板上沉积一层Al膜;
在设定温度下通入NH3,对所述Al膜进行氮化处理,从而在所述阵列和所述基板上形成所述AlN膜。
8.根据权利要求7所述的制作方法,其特征在于,所述设定温度为500-1500℃。
9.根据权利要求7所述的制作方法,其特征在于,所述AlN膜的厚度为1-10000nm。
10.一种白光发光二极管,所述白光发光二极管包括基板、依次层叠在所述基板上的N型层、发光层、P型层、金属反射层、以及设置在所述金属反射层的上的P电极和设置在所述N型层上的N电极,所述白光发光二极管上设有从所述P型层延伸到所述N型层的凹槽,其特征在于,所述白光发光二极管还包括玻璃凸点的阵列和AlN膜,所述玻璃凸点阵列和所述AlN膜依次层叠在所述基板和所述N型层之间,每个所述玻璃凸点中掺有荧光粉。
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