[发明专利]一种新型真空表面蒸镀工艺用载体在审
申请号: | 201410597062.5 | 申请日: | 2014-10-29 |
公开(公告)号: | CN104480431A | 公开(公告)日: | 2015-04-01 |
发明(设计)人: | 何丽蓉;许波连;张旦萍;祁义军 | 申请(专利权)人: | 苏州东杏表面技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12;B22F3/11 |
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地址: | 215614 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 真空 表面 工艺 载体 | ||
技术领域
本发明涉及一种真空表面蒸镀工艺用载体,具体而言是指将有机化合物负载到此载体上,然后在真空蒸镀设备里面采用电阻加热或电子枪加热方式,让有机化合物蒸发出来,在基材上形成表面镀层。
背景技术
真空表面蒸镀工艺是常见的在基材表面制备功能膜的主要方式,目前广泛应用于镜片、手机和平板电脑显示屏等的AF膜(抗指纹膜)也大多采用此工艺方式。AF膜的主要成分是氟取代烃基硅烷氧基类化合物,被蒸镀到基材表面后,即与基材表面的羟基发生反应,形成一层具有疏水和疏油功能的薄膜,即所谓AF膜。
目前主要的方式将原液(氟取代烃基硅烷氧基类化合物)分散在如钢丝绒、金属砂芯或惰性氧化物载体上,在真空蒸镀设备上采用电阻加热或电子枪加热方式让AF组分蒸发出来,在基材上形成AF膜。在蒸镀过程中,无论是电阻加热还是电子枪加热,都是温度逐渐升高的过程,当达到组分挥发温度时,即希望组分能够尽快脱离载体,否则会由于高温将AF组分破坏,从而影响AF膜的性能。这样的话,应该优先选用导热性能好的载体如钢丝绒或金属砂芯。
但目前使用的钢丝绒载体还存在如下的缺点。钢丝绒载体一般均采用人工制球,经压制而成,所以载体体积和质量不易控制,紧密程度也有很大差别,紧密程度不一不仅影响到导热的情况而且影响到载体对原液的吸附量,出现的情况就是每次蒸镀形成的膜厚不稳定,膜的功能也不稳定。
金属砂芯载体与钢丝绒相比,体积质量易于控制,导热性能很好,且可制成标准化的产品,但如果选择砂芯孔道则存在很大的问题。如选用孔道粗的砂芯,有利于AF组分扩散出来,但由于此时载体表面积较小,可吸附的AF原液可能会不足,从而影响膜厚和膜的性能。但如果采用孔道细的砂芯载体,虽然可吸附的AF组分会增加,但带来的问题则是AF组分不易扩散出去,从而被高温破坏。
本发明提出采用具有梯级孔道的金属砂芯载体,兼有小孔载体和大孔载体的优点,是优良的AF膜及其它有机薄膜组分蒸镀用的载体。
发明内容
本发明的目的是提供一种制备方法简单、具有导热性能好、蒸镀组分扩散快,吸附量大的表面蒸镀载体。
采用两种不同粒径大小(分别为1000~2000目和100~200目)的金属粉末,经高温烧结制成砂芯,并切割成所需形状。金属铜粉末采用氮气氛,在550~800℃,经5~10小时烧结而成。不锈钢粉末采用氮气氛,在900~1200℃,经5~10小时烧结而成。
具体实施方式
以下通过具体实施例对本发明进行详细说明,但应了解本发明不仅仅限定于所述实施例。
对比例1:在氮气保护下,将原料铜粉末(1000~1200目)4g,装入高为4mm,内径为5mm的模具内,控温在600℃,经10小时在马弗炉中烧结后冷却取出,即为载体A。
对比例2:在氮气保护下,将原料铜粉末(100~150目)4g,装入高为4mm,内径为5mm的模具内,控温在600℃,经10小时在马弗炉中烧结后冷却取出,即为载体B。
实施例1:在氮气保护下,将原料铜粉末(1000~1200目和100~150目)各2g,装入高为4mm,内径为5mm的模具内,控温在600℃,经10小时在马弗炉中烧结后冷却取出,即为载体1。
实施例2:在氮气保护下,将原料铜粉末(1500~2000目和180~200目)各2g,装入高为4mm,内径为5mm的模具内,控温在600℃,经10小时在马弗炉中烧结后冷却取出,即为载体2。
实施例3:在氮气保护下,将原料不锈钢粉末(1000~1200目和100~150目)各2g,装入高为4mm,内径为5mm的模具内,控温在1100℃,经10小时在马弗炉中烧结后冷却取出,即为载体3。
实施例4:在氮气保护下,将原料不锈钢粉末(1500~2000目和180~200目)各2g,装入高为4mm,内径为5mm的模具内,控温在1100℃,经10小时在马弗炉中烧结后冷却取出,即为载体4。
将上述各例载体浸入AF膜原液稀释剂3M hfe7200 5分钟,取出后用滤纸吸干称重,计算载体增重分别为:载体A为0.5g,载体B为0.1g,载体1为0.38g,载体2为0.41g,载体3为0.39g,载体4为0.42g。可见梯级孔道新型载体具有较大的吸附量。
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