[发明专利]微机电系统元件

权利要求书

1.一种微机电系统元件，包括：

基板；以及

至少一个微机电系统单元，配置于所述基板上，所述微机电系统单元包括：

至少一个第一电极，配置于所述基板上；

至少一个第二电极，配置于所述基板上；

至少一个着陆部件，配置于所述基板上；以及

铰链层，包括：

铰链部分，连接至所述第二电极；以及

至少一个悬臂部分，连接至所述铰链部分，所述悬臂部分具有第一开口以及配置于所述第一开口中且连接至所述第一开口的至少一侧的至少一个弹簧，其中当电压差存在于所述第一电极与所述第二电极之间时，所述铰链部分变形且所述弹簧因此触碰所述着陆部件。

2.如权利要求1所述的微机电系统元件，其中所述弹簧为连接至所述第一开口的两个相对侧的可挠性条带。

3.如权利要求1所述的微机电系统元件，其中所述弹簧为自所述第一开口的一侧延伸的突起。

4.如权利要求3所述的微机电系统元件，其中所述突起具有远离所述第一开口的所述侧的自由末端，且当所述铰链部分变形时，所述自由末端触碰所述着陆部件。

5.如权利要求4所述的微机电系统元件，其中所述自由末端为平末端、尖锐末端或圆末端。

6.如权利要求1所述的微机电系统元件，其中所述弹簧包括分别自所述第一开口的多侧延伸的多个突起。

7.如权利要求1所述的微机电系统元件，其中所述微机电系统单元还包括光学组件，其配置于所述铰链层上且具有至少一个操作空间以允许所述至少一个悬臂部分的所述弹簧变形，且所述操作空间与所述第一开口连通。

8.如权利要求7所述的微机电系统元件，其中所述光学组件包括：

第一间隔物层，配置于所述铰链层上且具有至少一个第二开口以形成所述至少一个操作空间；

第二间隔物层，配置于所述第一间隔物层上；以及

镜面层，配置于所述第二间隔物层上。

9.如权利要求1所述的微机电系统元件，其中所述第一电极配置于所述悬臂部分下，且当所述微机电系统单元在操作时，相同电压施加至所述第二电极以及所述着陆部件。

10.如权利要求1所述的微机电系统元件，其中所述铰链层与所述着陆部件都由导电材料制成，且所述铰链层电连接至所述第二电极。

11.如权利要求1所述的微机电系统元件，其中所述至少一个微机电系统单元为在基板上配置成阵列的多个微机电系统单元。

12.如权利要求1所述的微机电系统元件，其中所述至少一个悬臂部分为分别连接至所述铰链部分的两个相对侧的两个悬臂部分，且所述微机电系统单元还包括配置于所述基板上的至少一个第三电极，所述第一电极以及所述第三电极分别配置于所述两个悬臂部分下，当所述电压差存在于所述第一电极与所述第二电极之间时，所述悬臂部分中的一者移向所述对应的第一电极，且当所述电压差存在于所述第三电极与所述第二电极之间时，所述悬臂部分中的另一者移向所述对应的第二电极。