[发明专利]正型感光树脂组成物、感光树脂膜及使用此膜的显示装置在审

专利信息
申请号: 201410599091.5 申请日: 2014-10-30
公开(公告)号: CN104977804A 公开(公告)日: 2015-10-14
发明(设计)人: 金尙洙;姜真熙;金容台;卢健培;白载烈;柳汉成;李范珍;李相行;李种和;李珍泳 申请(专利权)人: 三星SDI株式会社
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/008
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 臧建明
地址: 韩国京畿道龙仁*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 感光 树脂 组成 使用 显示装置
【说明书】:

交叉引用

本发明主张2014年4月10日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请案第10-2014-0043252号的优先权和权益,其全部揭示内容以引用的方式并入本文中。

技术领域

本发明涉及一种正型感光树脂组成物、一种感光树脂膜以及一种使用所述感光树脂膜的显示装置。

背景技术

半导体装置的常规表面保护层和层间绝缘层包含聚酰亚胺树脂或聚苯并恶唑树脂作为碱性可溶树脂(alkali soluble resin),所述碱性可溶树脂具有极佳耐热性、电特性、机械特性等。所述树脂最近已用于感光聚酰亚胺前体或聚苯并恶唑前体组成物的形式,且因此易于涂布。组成物涂布在半导体或显示器的衬底上,通过紫外线(UV)图案化,显影且热亚胺化(imidize)以形成表面保护层、层间绝缘膜等。

碱性可溶树脂组成物可作为正型涂覆,其中对曝光部分进行显影和溶解,和作为负型涂覆,其中对曝光部分进行固化和维持。正型碱性可溶树脂组成物可使用无毒碱性水溶液作为显影溶液,但就加工特性或在热固化后降低收缩比来说,可能具有在显影后在热固化期间无法获得所需锥度角(tapered angle)的问题。

为解决这个问题,可向其中添加交联剂,但交联剂改变光学特性,且因此难以确保稳定性。

因此,已持续努力开发无需使用交联剂等而具有所需锥度角和高收缩比的碱性可溶树脂组成物。

发明内容

本发明一个实施例提供一种可具有高收缩比和极佳耐久性的正型感光树脂组成物。

另一实施例提供一种使用正型感光树脂组成物制造的感光树脂膜。

又一实施例提供一种包含感光树脂膜的显示装置。

本发明一个实施例提供一种正型感光树脂组成物,包含(A)包含由以下化学式1表示的重复单元的碱性可溶树脂;(B)感光二氮醌化合物;以及(C)溶剂。

[化学式1]

在以上化学式1中,

L1由以下化学式2表示。

[化学式2]

在以上化学式2中,

R1到R3独立地为氢、卤素、经取代或未经取代的C1到C20烷基或经取代或未经取代的C6到C20芳基。

R1和R2彼此稠合以形成环,且

n为1到10范围内的整数。

在以上化学式1中,

L2为经取代或未经取代的C6到C30芳香族有机基团。

以上化学式2可由以下化学式3到化学式6中的一个表示。

[化学式3]

[化学式4]

[化学式5]

[化学式6]

以碱性可溶树脂的总量计,由以上化学式1表示的重复单元的含量为5重量%到60重量%。

碱性可溶树脂可还包含由以下化学式7表示的重复单元、由以下化学式8表示的重复单元或其组合。

[化学式7]

[化学式8]

在以上化学式7和化学式8中,

L3为经取代或未经取代的C6到C30芳香族有机基团、经取代或未经取代的二价C1到C30脂肪族有机基团或经取代或未经取代的二价C3到C30脂环族有机基团,

L4为经取代或未经取代的C6到C30芳香族有机基团,

L5为经取代或未经取代的C6到C30芳香族有机基团、经取代或未经取代的二价C1到C30脂肪族有机基团或经取代或未经取代的二价C3到C30脂环族有机基团或有机硅烷基团,

L6为经取代或未经取代的C6到C30芳香族有机基团、经取代或未经取代的四价C1到C30脂肪族有机基团或经取代或未经取代的四价C3到C30脂环族有机基团,且

R4和R5独立地为氢、卤素、经取代或未经取代的C1到C20烷基或经取代或未经取代的C6到C20芳基。

碱性可溶树脂可还包含丙烯酸类树脂、酚醛清漆树脂、双酚A树脂、双酚F树脂或其组合。

碱性可溶树脂可具有1,000克/摩尔到30,000克/摩尔的重量平均分子量。

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