[发明专利]一种针对连续式化学镀的清洗方法

权利要求书

1.一种针对连续式化学镀的清洗方法，其特征在于：包括以下六级冲洗步骤：

一级冲洗：在镀制区内，水来自第三溢流区，初步去除工件表面残存的大量化学液，将绝大部分化学液隔离在镀制区内；

二级冲洗：在隔离工位内，水来自第三溢流区，二次去除膜正面残存的化学液，冲洗后的废水可选择流入废液回收槽或废水回收槽；

三级冲洗：水来自第三级溢流槽，由液下泵供应，并经过滤器过滤，对膜进行清洗，清洗后的水逐级溢流到二级溢流槽；

四级冲洗：水来自第二级溢流槽，由液下泵供应，并经过滤器过滤，对膜进行清洗，清洗后的水逐级溢流到一级溢流槽；

五级冲洗：水来自第一级溢流槽，由液下泵供应，并经过滤器过滤，对膜进行清洗，清洗后的水经过溢流排放口排掉；

六级冲洗：水来自DI水主水路，最终清洗。

2.如权利要求1一种针对连续式化学镀的清洗方法，其特征在于：所述的三级溢流槽内均舍友液位检测装置，当三级溢流槽内任意一个液位低时开启辅助补水功能。

3.如权利要求1一种针对连续式化学镀的清洗方法，其特征在于：所述的在第二级溢流槽内设有电阻率检测，用来检测溢流槽内的水质，当电阻率低于设定值时，也开启辅助补水功能，将溢流槽内的脏水替换掉。