[发明专利]一种波纹型薄片对称分布的大行程高精度定位平台

权利要求书

1.一种波纹型薄片对称分布的大行程高精度定位平台，其特征在于：包括由外向内相隔一定间隙依次相套设置的方框形终端平台(7)、方框形过渡平台(4)及支架(1)，过渡平台(4)两相对边外侧与终端平台(7)之间以及支架(1)两相对边外侧与过渡平台(4)之间各自对称地连接有弹性装置，且连接在过渡平台(4)与终端平台(7)之间的弹性装置和连接在支架(1)与过渡平台(4)之间的弹性装置在空间上相互垂直。

2.根据权利要求1所述的波纹型薄片对称分布的大行程高精度定位平台，其特征在于：连接在过渡平台(4)与终端平台(7)之间的弹性装置包括相互对称地设置于过渡平台(4)两相对边外侧的第三柔性体(5)和第四柔性体(6)，所述第三柔性体(5)和第四柔性体(6)的中部与过渡平台(4)固定连接，所述第三柔性体(5)和第四柔性体(6)的两端与终端平台(7)固定连接；连接在支架(1)与过渡平台(4)之间的弹性装置包括相互对称地设置于支架(1)两相对边外侧的第一柔性体(2)和第二柔性体(3)，所述第一柔性体(2)和第二柔性体(3)的中部与支架(1)固定连接，所述第一柔性体(2)和第二柔性体(3)的两端与过渡平台(4)固定连接。

3.根据权利要求2所述的波纹型薄片对称分布的大行程高精度定位平台，其特征在于：所述三柔性体(5)和第四柔性体(6)包括用于连接过渡平台(4)的中心固定板(8)、沿同一直线对称地连接设置于中心固定板(8)两侧的波纹型薄片(9)，两个波纹型薄片(9)另一端各设有端部固定板(10)，所述中心固定板(8)及端部固定板(10)上均开有螺钉沉孔；所述三第一柔性体(2)和第二柔性体(3)包括用于连接支架(1)的中心固定板(8)、沿同一直线对称地连接设置于中心固定板(8)两侧的波纹型薄片(9)，两个波纹型薄片(9)另一端各设有端部固定板(10)，所述中心固定板(8)及端部固定板(10)上均开有螺钉沉孔。

4.根据权利要求3所述的波纹型薄片对称分布的大行程高精度定位平台，其特征在于：所述波纹型薄片(9)横截面呈周期性波浪形，由若干直片段(91)和半环形段(92)交替相连而成。

5.根据权利要求1至4任意项所述的波纹型薄片对称分布的大行程高精度定位平台，其特征在于：所述终端平台(7)、过渡平台(4)及支架(1)处于同一平面上。

6.根据权利要求2所述的波纹型薄片对称分布的大行程高精度定位平台，其特征在于：所述第一柔性体(2)、第二柔性体(3)、第三柔性体(5)、第四柔性体(6)的大小尺寸相一致。

7.根据权利要求3所述的波纹型薄片对称分布的大行程高精度定位平台，其特征在于：所述第一柔性体(2)、第二柔性体(3)、第三柔性体(5)、第四柔性体(6)均为一体式机构。

8.根据权利要求7所述的波纹型薄片对称分布的大行程高精度定位平台，其特征在于：所述过渡平台(4)安装第三柔性体(5)、第四柔性体(6)的部位及支架(1)上安装第一柔性体(2)、第二柔性体(3)的部位均设置有向外突出的凸台。