[发明专利]振动片及其制造方法、角速度传感器、电子设备及移动体

说明书

本发明涉及一种振动片及其制造方法、角速度传感器、电子设备以及移动体。振动片具有检测部，所述检测部在检测时沿着压电体的厚度方向进行振动。检测部具有：第一主面(11)以及第二主面(12)，其在厚度方向Z上对置；外侧面；槽部，其在从被形成于第一主面上的开口起的深度方向上于第一主面与第二主面之间的位置处具有槽底；外侧面电极，其被形成于外侧面上；内侧面电极，其被形成于与外侧面对置的内侧面上。外侧面电极包括在厚度方向上位于第二主面侧的端面。在外侧面中的至少一个上，于从端面到第二主面的区域内，具有未形成有外侧面电极的电极非形成区域。

技术领域

本发明涉及一种振动片、角速度传感器、电子设备以及移动体和振动片的制造方法等。

背景技术

一般地，已知一种被利用于角速度传感器(陀螺传感器)中的振动片(专利文献1、2)。例如，在专利文献1的图1中，当对在Y方向上延伸的振动片施加有绕Y轴的角速度运动时，在X-Y平面内于X方向上进行面内振动的驱动部将在科里奥利力的作用下变化为Z轴方向(振动片的厚度方向)上的面外振动。该Z方向上的力分量引起检测部的运动。对应于这种力分量，在检测部中基于压电效应而产生X方向的电场。基于该电场的输出信号从检测部被输出，从而角速度被检测。

作为被用于陀螺传感器中的振动片，提出一种在检测部中设置有在检测部的侧面上开口并将X方向设为深度方向的槽(干涉防止部)的技术(专利文献3)。该槽未在槽的内侧面或槽底设置有电极，其是为了防止被设置于检测部的外侧面上的多个电极部间的电耦合干涉而被配置的，由此对泄漏电压的产生进行抑制。

作为被使用于陀螺传感器中的其他的振动片，提出一种在检测部的侧面上形成阶梯部，而使被形成于检测部的两侧面上的一对电极间的X方向距离缩短，从而提高电场效率的技术(专利文献4)。

伴随着陀螺传感器的小型化，当被配置于检测部的电极面积变窄时，与力分量相对应的X方向的电场将变小从而检测灵敏度降低。与专利文献3、4不同，考虑到设置在检测部的主面上开口的槽来扩大电极面积。但是，明确了如下内容，即，在例如像陀螺传感器这样振动片的检测部沿着其厚度方向进行振动的情况下，如果不考虑电极的形成位置反而会产生电荷损失。

专利文献1：日本特开2012-098091号公报(图1)

专利文献2：日本特开2012-112748号公报

专利文献3：日本特开2001-221638号公报(图4)

专利文献4：日本特开2011-141266号公报(图3)

发明内容

本发明的多个方式的目的在于，提供一种即使振动片小型化也能够增大电极面积，并能够提高电场效率从而提高检测灵敏度的振动片、角速度传感器、电子设备以及移动体和振动片的制造方法。

(1)本发明的一个实施方式涉及一种振动片，其特征在于，具备检测部，所述检测部包括压电体的第一主面以及相对于所述第一主面而处于所述压电体的背面的第二主面，和对所述第一主面与所述第二主面进行连接的外侧面，并且所述检测部沿着与所述第一主面交叉的方向进行振动，所述检测部具有：槽部，其在从被设置于所述第一主面上开口起的深度方向上，于所述第一主面与所述第二主面之间的位置处具有槽底；第一内侧面以及第二内侧面，其被设置于面向所述槽部内的内侧面上；第一外侧面以及第二外侧面，其被设置于所述外侧面上；第一内侧面电极，其被设置于所述第一内侧面上；第一外侧面电极，其被设置于所述第一外侧面上；第二内侧面电极，其被设置于所述第二内侧面上；第二外侧面电极，其被设置于所述第二外侧面上，在所述第一外侧面与所述第一内侧面之间具有所述压电体，在所述第二外侧面与所述第二内侧面之间具有所述压电体，所述第一外侧面电极以及所述第二外侧面电极分别包括在从所述第一主面到所述第二主面的方向上位于所述第二主面侧的端面，所述第一外侧面以及所述第二外侧面中的至少一方在从所述端面到所述第二主面为止的区域内具有电极非形成区域，所述电极非形成区域为未设置有所述第一外侧面电极或所述第二外侧面电极的区域。