[发明专利]一种响应波长可调的紫外探测器

权利要求书

1.一种响应波长可调的基于Al_xGa_1-xN上石墨烯的紫外探测器，该探测 器包括支撑衬底(1)，所述支撑衬底(1)上形成有Al_xGa_1-xN(2)，所述 Al_xGa_1-xN(2)上形成有石墨烯层(3)，以及在所述石墨烯层(3)上形成 有两端探测电极(4)，另外在所述两端探测电极(4)上分别具有超声键合 的电极引线(5)。

2.根据权利要求1所述的紫外探测器，其特征在于，所述支撑衬底(1) 可以是蓝宝石，SiC、GaN或AlN，以及其它适合Al_xGa_1-xN生长的衬底。

3.根据权利要求1所述的紫外探测器，其特征在于，所述Al_xGa_1-xN的 Al组分x值介于0和1之间。

4.根据权利要求1或3所述的紫外探测器，其特征在于，所述Al_xGa_1-xN 层(2)上的所述石墨烯层(3)的层数在10层以下。

5.根据权利要求1所述的紫外探测器，其特征在于，还包括一个具有 通光窗口的封装壳体，所述电极引线(5)与封装壳体的电极相连，紫外光 可以通过通光窗口照射到所述Al_xGa_1-xN层(2)和所述石墨烯层(3)上。

6.根据权利要求1所述的紫外探测器，其特征在于，所述两端探测电 极(4)是简单的一组或多组两端电极，或者是一组或多组的叉指电极以及 其它类似的电极。