[发明专利]一种芯片级核磁共振原子陀螺仪表头

权利要求书

1.一种芯片级核磁共振原子陀螺仪表头，其特征在于，包括密闭结构(7)，位于密闭结构内的激光光源(1)、光学组件(2)、光电探测器件(6)、MEMS原子泡玻璃(4)，所述激光光源为两个，光学组件也为两个，并分别位于激光光源下方，MEMS原子泡玻璃位于光学组件下方，光电探测器件为两个，其中一个位于MEMS原子泡玻璃下方并位于其中一个激光光源正下方，另一个位于MEMS原子泡玻璃上方，所述MEMS原子泡玻璃内设有两个硅基反射面(5)，所述其中一个激光光源所产生的光束经过其中一个硅基反射面后反射至另一个硅基反射面，然后反射至另一个光电探测器件。

2.根据权利要求1所述的一种芯片级核磁共振原子陀螺仪表头，其特征在于，所述两个激光光源分别为抽运光源、检测光源，所述抽运光源所产生的光束以法线方向入射并依次经过光学组件、MEMS原子泡玻璃至其中一个光电探测器件，所述检测光源所产生的光束以法线方向入射并依次经过光学组件、其中一个硅基反射面后与来自所述抽运光源的光束正交，然后通过另一个硅基反射面后正交反射至另一个光电探测器件；所述两个激光光源由一个特定波长的纵腔面发射激光管分束产生，或由两个特定波长的纵腔面发射激光管分别产生。

3.根据权利要求2所述的一种芯片级核磁共振原子陀螺仪表头，其特征在于，所述光学组件包括透镜、偏振片或衰减片、1/4波片。

4.根据权利要求3所述的一种芯片级核磁共振原子陀螺仪表头，其特征在于，所述MEMS原子泡玻璃内包含由碱金属元素、惰性气体组成的MEMS原子泡。

5.根据权利要求4所述的一种芯片级核磁共振原子陀螺仪表头，其特征在于，所述MEMS原子泡玻璃与硅基反射面通过阳极键合工艺组装。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的一种芯片级核磁共振原子陀螺仪表头，其特征在于，所述MEMS原子泡玻璃的上下两面均设有无磁电加热模块(3)。

7.根据权利要求6所述的一种芯片级核磁共振原子陀螺仪表头，其特征在于，所述密闭结构外还缠绕有三轴磁场线圈(8)。

8.根据权利要求7所述的一种芯片级核磁共振原子陀螺仪表头，其特征在于，所述密闭结构外并位于三轴磁场线圈外还设有磁屏组件(9)。

9.根据权利要求8所述的一种芯片级核磁共振原子陀螺仪表头，其特征在于，所述密闭结构为真空密闭结构，并采用非金属材料制作而成。