[发明专利]等离子体加工设备

权利要求书

1.一种等离子体加工设备，包括反应腔室、用于承载被加工工件的基座和射频天线装置，其特征在于，所述射频天线装置包括电感线圈、电极板组和射频源，其中，

所述电感线圈和电极板组相互并联，且与所述射频源电连接，并且二者设置在所述反应腔室顶部，且分别与所述基座的不同位置相对应；

所述电极板组包括相互并联的至少两个电极板，

其中一个电极板与所述基座的中心区域相对应；其余电极板均为环绕在该电极板外围的环体；所述电感线圈环绕在任意一个电极板的外围；或者，

所述电感线圈与所述基座的中心区域相对应；所述至少两个电极板均为环绕在所述电感线圈的外围的环体。

2.根据权利要求1所述的等离子体加工设备，其特征在于，所所述电极板组包括相互并联的至少三个电极板，

其中一个电极板与所述基座的中心区域相对应；其余电极板均为环绕在该电极板外围的环体，且互为同心环；所述电感线圈环绕在任意一个电极板的外围；或者，

所述电感线圈与所述基座的中心区域相对应；所述至少三个电极板均为环绕在所述电感线圈的外围的环体，且互为同心环。

3.根据权利要求1-2任意一项所述的等离子体加工设备，其特征在于，所述射频天线装置还包括固定电容组，所述固定电容组串联在至少一个所述电极板所在电路上。

4.根据权利要求3所述的等离子体加工设备，其特征在于，所述固定电容组由一个或者多个相互串联的固定电容组成。

5.根据权利要求1-2任意一项所述的等离子体加工设备，其特征在于，所述射频天线装置还包括可调电容，所述可调电容串联在至少一个所述电极板所在电路上。

6.根据权利要求1-2任意一项所述的等离子体加工设备，其特征在于，所述电感线圈为平面线圈，所述平面线圈所在平面与所述反应腔室的径向相互平行。

7.根据权利要求1-2任意一项所述的等离子体加工设备，其特征在于，所述电感线圈为立体螺旋线圈，所述立体螺旋线圈的轴向与所述反应腔室的轴向相互平行。

8.根据权利要求1-2任意一项所述的等离子体加工设备，其特征在于，所述电极板所在平面与所述反应腔室的径向相互平行。