[发明专利]TFT基板喷淋装置及蚀刻系统

权利要求书

1.一种TFT基板喷淋装置，其特征在于，所述喷射装置包括喷淋轴筒、及用于对所述基板喷淋的至少两种喷嘴；所述至少两种喷嘴设于所述喷淋轴筒外表面并与所述喷淋轴筒内部贯通，并且至少两种喷嘴位于所述喷淋轴筒外周面的不同侧；所述喷淋轴筒内设有沿着喷淋轴筒内壁轴向延伸并可绕喷淋轴筒轴心转动的遮挡壁，所述遮挡壁与喷淋轴筒内壁接触的面积大于至少两种喷嘴与喷淋轴筒连接处的面积；所述喷淋轴筒旋转使所述遮挡壁在所述喷淋轴筒内封闭所述至少两个种喷嘴中的一种，并使另一种喷嘴进行喷淋。

2.如权利要求1所述的TFT基板喷淋装置，其特征在于，所述至少两种喷嘴包括第一喷嘴及第二喷嘴且第一喷嘴及第二喷嘴的数量均为多个，所述多个第一喷嘴及多个第二喷嘴均沿着所述喷淋轴筒的轴向呈直线排列设于所述喷淋轴筒外表面上，并且所述多个第一喷嘴所在直线与多个第二喷嘴所在直线在所述喷淋轴筒外表面不同侧。

3.如权利要求2所述的TFT基板喷淋装置，其特征在于，所述第一喷嘴与所述第二喷嘴分别喷射不同粘稠度的蚀刻药液。

4.如权利要求3所述的TFT基板喷淋装置，其特征在于，所述第一喷嘴的喷口直径与所述第二喷嘴的喷口直径不同。

5.如权利要求4所述的TFT基板喷淋装置，其特征在于，所述遮挡壁为筒状且截面为半圆形。

6.如权利要求5所述的TFT基板喷淋装置，其特征在于，所述第一喷嘴所在位置与第二喷嘴所在位置呈直角。

7.如权利要求5所述的TFT基板喷淋装置，其特征在于，所述数个第一喷嘴所在直线与数个第二喷嘴所在直线以所述喷淋轴筒的轴线为对称线。

8.如权利要求1-7任一项所述的TFT基板喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置还包括喷淋轴筒连接的控制喷淋装置喷淋的控制件。

9.一种TFT基板蚀刻系统，其特征在于，其包括固定基板的承载台、控制系统及对所述基板蚀刻的如权利要求1-8任一项所述的喷淋装置，喷淋轴筒旋转使所述遮挡壁在所述喷淋轴筒内封闭所述至少两个种喷嘴中的一种，并使另一种喷嘴对向所述基板。