[发明专利]铝靶材的制造方法

权利要求书

1.一种铝靶材的制造方法，其特征在于，包括：

提供铝锭；

对所述铝锭进行第一热处理；

在所述第一热处理后，对所述铝锭进行锻打以形成第一铝靶材坯料；

对所述第一铝靶材坯料进行第二热处理；

在所述第二热处理后，对所述第一铝靶材坯料进行轧制以形成第二铝靶材坯料；

将至少两个所述第二铝靶材坯料接触在一起；

对接触在一起的所述第二铝靶材坯料同时进行第三热处理，以形成铝靶材；

其中，所述第二铝靶材坯料的形状呈长方体，所述长方体中面积最大的两个表面为主表面，其它表面为侧面；将至少两个所述第二铝靶材坯料接触在一起的步骤包括：将相邻两个所述第二铝靶材坯料中，第一个所述第二铝靶材坯料的其中一个所述主表面与第二个所述第二铝靶材坯料的其中一个所述主表面部分叠合在一起以形成阶梯错开式叠合，使相互叠合的所述主表面至少有部分暴露在外，并在每个所述第二铝靶材坯料的所述主表面连接一个热电偶。

2.如权利要求1所述的铝靶材的制造方法，其特征在于，将全部所述第二铝靶材坯料按阶梯错开式叠合，并在每个所述第二铝靶材坯料的所述主表面连接一个热电偶。

3.如权利要求1所述的铝靶材的制造方法，其特征在于，接触在一起的所述第二铝靶材坯料具有两个完全暴露在外的所述主表面，采用铝板与至少其中一个完全暴露在外的所述主表面叠合。

4.如权利要求1至3任一项所述的铝靶材的制造方法，其特征在于，还包括：对接触在一起的所述第二铝靶材坯料进行捆绑，在捆绑后对所述第二铝靶材坯料进行所述第三热处理。

5.如权利要求4所述的铝靶材的制造方法，其特征在于，将三个、四个或者五个所述第二铝靶材坯料接触在一起。

6.如权利要求1所述的铝靶材的制造方法，其特征在于，所述第三热处理的热处理温度为245℃～255℃，热处理时间为14.5min～15.5min。

7.如权利要求1所述的铝靶材的制造方法，其特征在于，所述第二热处理的热处理温度为395℃～405℃，热处理时间为29.5min～30.5min。

8.如权利要求1所述的铝靶材的制造方法，其特征在于，所述第一热处理的热处理温度为295℃～305℃，热处理时间为29.5min～30.5min。