[发明专利]一种基于双分束元件的准分子激光脉冲展宽装置

权利要求书

1.一种基于双分束元件的准分子激光脉冲展宽装置，其特征在于：包括指向相同的两个分束元件和一个共焦谐振腔；第一个分束元件将入射激光束分为两束，一束光进入共焦谐振腔，产生一定的光学延迟后入射到第二个分束元件，另一束光直接入射到第二个分束元件；第二个分束元件将每一束入射光束进一步分为两束，其中一束光进入光学谐振腔并产生一定的光学延迟后回到第一个分束元件进一步分束，另一束与其他被分束元件分光后直接输出或者经共焦谐振腔光学延迟后输出的光束合并，形成输出光束。

2.根据权利要求1所述的基于双分束元件的准分子激光脉冲展宽装置，其特征在于：所述共焦谐振腔可以由四片球面反射镜构成，也可以由两片球面反射镜构成，球面反射镜曲率半径根据具体要求确定。

3.根据权利要求1所述的基于双分束元件的准分子激光脉冲展宽装置，其特征在于：所述共焦谐振腔的腔长根据脉宽展宽要求的光学延迟时间确定，即L＝a·c·t，L为谐振腔腔长，c为光速，t为光学延迟时间，a为常数。

4.根据权利要求1所述的基于双分束元件的准分子激光脉冲展宽装置，其特征在于：所述两个分束元件的分光比需根据共焦谐振腔腔镜的反射率值和分束元件的光学损耗进行优化，在腔镜反射率高于97％，分束元件光学损耗低于2％时，第一片分束元件的分光比(即反射/透射比)范围为0.20/0.80-0.30/0.70，第二片分束元件的分光比(即反射/透射比)范围为0.60/0.40-0.70/0.30。

5.根据权利要求1所述的基于双分束元件的准分子激光脉冲展宽装置，其特征在于：所述两个分束元件的使用入射角为45±5°。

6.根据权利要求1所述的基于双分束元件的准分子激光脉冲展宽装置，其特征在于：根据实际使用需要，在输出光束中插于厚度与两片分束元件厚度之和相等的增透光学元件用于补偿由分束元件引起的输出光束位置平移，增透光学元件使用入射角与分束元件使用入射角反对称。

7.根据权利要求1所述的基于双分束元件的准分子激光脉冲展宽装置，其特征在于：根据实际使用需要，在脉冲展宽装置中插入一个或多个折叠反射镜。

8.根据权利要求1所述的基于双分束元件的准分子激光脉冲展宽装置，其特征在于：当准分子激光波长低于200nm时，脉冲展宽装置的整个光路系统均置于高纯氮气环境中。