[发明专利]一种石墨烯的化学图形化方法在审
| 申请号： | 201410607577.9 | 申请日： | 2014-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN104317162A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 潘洪亮;崔华亭;史浩飞;余崇圣;钟达 | 申请（专利权）人： | 重庆墨希科技有限公司;中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 朱振德 |
| 地址： | 401329 重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 化学 图形 方法 | ||
1.一种石墨烯的化学图形化方法，其特征在于：包括以下步骤：
1）在石墨烯表面涂抹光阻材料；
2）将步骤1）得到的光阻材料-石墨烯复合材料曝光显影，得到需要的图形；
3）将步骤2）得到的曝光显影后的光阻材料-石墨烯复合材料送入反应装置，将显影暴露的石墨烯转变为石墨烷；
4）去除步骤3）得到的复合材料上的光阻材料，得到图形化的石墨烯。
2.根据权利要求1所述的石墨烯的化学图形化方法，其特征在于：所述步骤1）中，石墨烯为生长基体上生长后转移到目标基体上的石墨烯。
3.根据权利要求2所述的石墨烯的化学图形化方法，其特征在于：所述步骤1）中，生长基体为铜、镍、铁或铝。
4.根据权利要求2所述的石墨烯的化学图形化方法，其特征在于：所述步骤1）中，目标基体为聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚氯乙烯、石英、聚乙烯或聚甲基丙烯酸甲酯。
5.根据权利要求1所述的石墨烯的化学图形化方法，其特征在于：所述步骤1）中，光阻材料为正胶、负胶或反转胶。
6.根据权利要求1所述的石墨烯的化学图形化方法，其特征在于：所述步骤3）中，将显影暴露的石墨烯转变为石墨烷的具体方法为：将材料放入高能反应腔中，用氩气冲洗反应腔，将反应腔中的空气排出，再在反应腔中注入氢气和氩气的混合气体，打开反应腔，反应30分~4小时直至达到饱和状态，取出即可。
7.根据权利要求6所述的石墨烯的化学图形化方法，其特征在于：所述步骤3）中，高能反应腔为等离子体或紫外线反应腔。
8.根据权利要求6所述的石墨烯的化学图形化方法，其特征在于：所述步骤3）中，氢气和氩气的混合气体中氢气的体积比为5%~20%。
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