[发明专利]图案化锰掺杂二氧化钛薄膜的制备工艺在审
| 申请号： | 201410608451.3 | 申请日： | 2014-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN106065463A | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | 张晨光 | 申请（专利权）人： | 西安伟琪环保科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/58 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710075 陕西省西安市高新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 图案 掺杂 氧化 薄膜 制备 工艺 | ||
【说明书】：
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