[发明专利]气体输送装置及等离子体处理装置

权利要求书

1.一种气体输送装置，应用于等离子体处理装置，所述等离子体处理装置 包括反应腔体，其特征在于，所述气体输送装置包括：

气体分流器，用于将反应气体分流为流量可控的多路以输出至位于所述反 应腔体内的气体导流件的不同气体分布区域；

至少一个气体调节器，连接于所述气体分流器及所述气体导流件之间，每 一所述气体调节器用于接收经所述气体分流器输出的其中一路反应气体并将其 分流为多条支路以输出至所述气体导流件上对应于该路反应气体的气体分布区 域内的不同子区域，其包括与该对应的气体分布区域的不同子区域相连通的多 条气体传输管线，其中至少一条气体传输管线包括并联的至少三条分支管线及 流量切换组件，该流量切换组件用于控制各所述分支管线的传输流量及导通和 截止状态以调节该条气体传输管线所输送的气体流量。

2.根据权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，所述流量切换组件 包括设置于所述至少三条分支管线上的多个限流元件和至少两个开关元件。

3.根据权利要求2所述的气体输送装置，其特征在于，所述多条气体传输 管线包括第一气体传输管线和第二气体传输管线，所述第二气体传输管线包括 并联的第一、第二和第三分支管线及所述流量切换组件，所述流量切换组件包 括设置于所述第一分支管线上的第一限流元件、设置于所述第二分支管线上的 串联的第二限流元件和第一开关元件、以及设置于所述第三分支管线上的串联 的第三限流元件和第二开关元件。

4.根据权利要求3所述的气体输送装置，其特征在于，所述第一气体传输 管线上设置第四限流元件。

5.根据权利要求3所述的气体输送装置，其特征在于，所述流量切换组件 还包括设置于所述第一分支管线上的与所述第一限流元件串联的第三开关元件。

6.根据权利要求3所述的气体输送装置，其特征在于，所述气体分流器将 反应气体分流为第一流量和第二流量的两路反应气体以输出至所述气体导流件 的第一气体分布区域和第二气体分布区域，所述气体调节器将所述第二流量的 反应气体分流为第三流量和第四流量的两路反应气体以分别传输至所述第二气 体分布区域的第一子区域和第二子区域。

7.根据权利要求5所述的气体输送装置，其特征在于，各所述限流元件均 为限流孔，各所述开关元件均为开关阀。

8.根据权利要求7所述的气体输送装置，其特征在于，各所述限流孔的尺 寸不同。

9.根据权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，所述气体导流件为 气体喷淋头。

10.一种等离子体处理装置，包括反应腔体和如权利要求1～9任一项所述的 气体输送装置。