[发明专利]UVW平台校准方法及装置

权利要求书

1.一种UVW平台校准方法，其特征在于，预先根据UVW平台的规格参数，确定UVW平台的各个工作轴的移动量与X、Y和θ三个方向的移动量之间的对应关系，所述UVW平台校准方法包括：

获取三组以上，且不同线的X方向和Y方向的预设平移量后，根据所述对应关系和所述预设平移量，确定所述UVW平台中各个工作轴的第一移动量，并控制所述各个工作轴根据所述第一移动量进行移动，实现平移；

根据UVW平台中标记点在平移前后的平台坐标变化量和图像坐标变化量，计算第一类型参数，其中，所述第一类型参数包括：图像坐标系在X方向的分辨率R_X、图像坐标系在Y方向的分辨率R_Y，以及图像坐标系和平台坐标系之间的夹角ω；

获取预设的旋转角度α后，根据所述对应关系和所述旋转角度α，确定所述UVW平台中各个工作轴的第二移动量，并控制所述各个工作轴根据所述第二移动量进行移动，实现旋转；

根据所述第一类型参数、旋转角度α，以及所述标记点在旋转前后的图像坐标，计算第二类型参数，其中，所述第二类型参数包括：UVW平台在旋转前，所述标记点的平台坐标(X₀,Y₀)；

根据所述第一类型参数、第二类型参数和UVW平台在旋转前，所述标记点的图像坐标(x₀,y₀)，获取所述UVW平台在移动过程中，所述标记点的图像坐标系和平台坐标系之间的映射关系，所述映射关系为：

XY1=RX·cos(ω)-RY·sin(ω)X0RX·sin(ω)RY·cos(ω)Y0001x-x0y-y01;]]>

其中，(X,Y)为所述标记点在移动过程中的平台坐标，(x,y)为所述标记点在移动过程中的图像坐标。