[发明专利]硅片匀胶烘干操作台

说明书

技术领域

本发明涉及一种硅片匀胶烘干操作台。

背景技术

在硅片制作工艺中，匀胶是利用高速旋转的离心力将光刻胶涂平，匀胶后会高温处理，蒸发掉其中水分，定型。目前，硅片利用匀胶机处理后，需要把匀胶后的硅片放到烘干箱内烘干，由于匀胶机一次只能处理一片硅片，处理完后操作人员需要将单片硅片放入烘干箱内，需要频繁起身，操作不方便。

发明内容

为了克服现在硅片匀胶烘干操作不方便的问题，本发明的目的在于提供一种操作方便，操作人员不需要频繁起身的硅片匀胶烘干操作台。

为了解决上述问题，本发明采用以下技术方案：一种硅片匀胶烘干操作台，其特征在于：包括操作台本体、匀胶机和烘干装置，在所述操作台本体桌面上设置有通孔，所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中；所述烘干装置包括加热丝、开关和烘干板，所述开关设置在操作台本体的桌面一侧，所述加热丝位于烘干板下方，所述烘干板上表面等间距设置有若干凸筋。

进一步的，在所述操作台本体上设置有棚罩，棚罩的顶端呈三角形。

优选的，所述匀胶机开关为脚踏式开关。

本发明的有益效果是：它将匀胶机和烘干装置巧妙的设计在操作台上，实现了匀胶和烘干在同一操作台操作；烘干板上等间距设置的凸筋方便硅片的取放；匀胶机采用脚踏式开关，设计合理，操作方便；三角形棚罩可防止蒸汽凝结后落到硅片上。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明：

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的烘干板侧视图。

图中，1本体、12棚罩、2匀胶机、21脚踏式开关、3烘干装置、31开关、32烘干板、321凸筋。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施例做详细说明：

如图1和图2所示，本发明的具体实施包括操作台本体1、匀胶机2和烘干装置3。

在所述操作台本体1的桌面上设置有通孔，所述匀胶机2的托盘固定在所述通孔中，匀胶机2的托盘上端与桌面平齐，匀胶机2的机体固定在操作台本体1的桌面的下方，优选的，所述匀胶机2的开关为脚踏式开关21。所述烘干装置3包括加热丝、开关31和烘干板32，所述开关31设置在操作台本体1的桌面一侧。所述加热丝位于烘干板32下方，加热丝与电热炉中的加热丝相同，加热丝对烘干板加热，实现对烘干板32上的硅片烘干。所述烘干板32上表面等间距设置有若干凸筋321，烘干板32优选为铝板，其上面的凸筋321可以横向设置，也可以纵向设置，图1和图2中为纵向设置。在图1中，匀胶机2设置了两台，它们用一个脚踏式开关21控制，当然，匀胶机2也可以设置一台或多台。

为了防止灰尘落入匀胶的硅片上，在所述操作台本体1上设置有棚罩12。为了防止在烘干过程中蒸汽在棚罩12上凝结后滴落到硅片上，棚罩12的顶端为三角形结构设计，与常见的三角形房顶相同，这样凝结的水珠会沿着房顶落到一侧。棚罩12优选的采用透明玻璃制成。

使用时，工作人员坐在操作台本体1前方，踩下脚踏式开关21，开始匀胶，匀胶完成后直接将硅片按顺序放在烘干板21上开始烘干。

以上所述只是本发明的优选实施方式，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也被视为本发明的保护范围。