[发明专利]一种用于多弧离子镀设备沉积涂层工装及其使用方法

权利要求书

1.一种用于多弧离子镀设备沉积涂层工装，其特征在于，包括拉杆(1)、定位盒(3)、连接板(4)以及吊钩(5)，其中，拉杆(1)的两端设置吊钩(5)，拉杆(1)的底端设置连接板(4)，连接板(4)上设置用于放置涡轮叶片(2)的定位盒(3)，定位盒(3)位于拉杆两侧。

2.根据权利要求1所述的用于多弧离子镀设备沉积涂层工装，其特征在于，所述拉杆(1)、定位盒(3)、连接板(4)以及吊钩(5)的材质为1Cr18Ni9Ti材料。

3.根据权利要求1所述的用于多弧离子镀设备沉积涂层工装，其特征在于，所述定位盒(3)采用焊接的方式固定在连接板(4)上。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的用于多弧离子镀设备沉积涂层工装，其特征在于，所述连接板(4)上开设有通孔，拉杆(1)的底端穿过通孔，通过焊接的方式在拉杆(1)的底端设置吊钩(5)。

5.一种如权利要求1所述的用于多弧离子镀设备沉积涂层工装的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将待涂覆的涡轮工作叶片(2)和拉杆(1)、定位盒(3)、连接板(4)以及吊钩(5)清洗干净；

2)将涡轮工作叶片榫头装入定位盒(3)中，通过吊钩(5)将多个拉杆(1)连成串；

3)将装夹有涡轮工作叶片(2)的成串拉杆与多弧离子镀设备沉积室上端的吊钩连接，然后开启多弧离子镀设备进行沉积涂层，最后完成对涡轮工作叶片的涂层。

6.一种根据权利要求5所述的用于多弧离子镀设备沉积涂层工装的使用方法，其特征在于，进行沉积涂层的具体步骤为：

1)对沉积室抽真空，当真空度低于6.7×10^-2Pa时，开始加热，当温度达到设定值并稳定5分钟后，进行辉光清洗、轰击清洗；然后在偏压为90～310V，电流为90～100A下进行沉积涂层，涂层厚度为20～55μm；

2)将沉积室内涡轮工作叶片真空冷却至100℃以下后，向沉积室内充入空气，打开炉门取出涡轮工作叶片及工装，卸掉工装，得到叶身外表面和缘板上表面有涂层，且榫头被防护的涡轮工作叶片。