[发明专利]一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜

权利要求书

1.一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜，其特征是：该投影物镜物象共轭距为L＝350mm；

其中物镜的物方工作距为85.2mm，像方工作距为79.5mm，物镜工作中心波长为365nm，有效工作波段为360nm～370nm；

该物镜共有10枚镜片，构成双远心对称式结构，从物面光线入射方向开始到光阑前为第一组镜片，第一组镜片包括第一镜片L1，第二镜片L2，第三镜片L3，第四镜片L4，第五镜片L5，其中第五镜片L5为负透镜，其余镜片为正透镜；从光阑后到像面前为第二组镜片，第二组镜片包括第六镜片L6，第七镜片L7，第八镜片L8，第九镜片L9，第十镜片L10；第二组镜片与第一组镜片关于光阑对称，即第六镜片L6与第五镜片L5相同，第七镜片L7与第四镜片L4相同，并以此类推。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜，其特征是：同时物镜的物方、像方远心度控制在±0.5°以内，该物镜所述远心度控制在±0.5°以内这样可以保证物镜在像面或物面发生一定量偏移时，成像质量和放大倍率不会受到太大的影响。

3.根据权利要求1所述的一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜，其特征是：该物镜成-1倍倒像，即放大倍率为-1×。

4.根据权利要求1所述的一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜，其特征是：物方有效视场为20mm×20mm，物方数值孔径为NA_物＝0.19。

5.根据权利要求1所述的一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜，其特征是：所有镜片玻璃材料全部采用国产成都光明光电公司的材料，牌号分别为：H-K9L、H-QK3L、F2；此三种材料在356nm波段实测中具有良好的透过率。